Bơm hút chân không khô Edwards iXL500Q

Bơm hút chân không khô Edwards iXL500Q

Dòng bơm hút chân không iXM , iXH , iXL chuẩn mực toàn cầu về đổi mới chân không trong ngành bán dẫn

Xanh hơn và đáng tin cậy hơn với chi phí sở hữu thấp hơn

Dòng máy bơm khô cải tiến của chúng tôi mang đến cho bạn công nghệ tiên tiến được thiết kế để cải thiện môi trường sản xuất chất bán dẫn và điện tử của bạn.

Mỗi dòng sản phẩm đều được thiết kế riêng để mang lại lợi thế về hiệu suất môi trường, độ tin cậy trong điều kiện khắc nghiệt và tính linh hoạt trong các ứng dụng nhẹ.

Máy bơm khô dòng năng lượng thấp Edwards iXM có thể mang lại những cải tiến quy trình thực sự với thời gian hoạt động được tăng lên, tác động đến môi trường được giảm thiểu và tiết kiệm chi phí cho các ứng dụng quan trọng nhất của bạn.

Cơ chế rễ tiết kiệm năng lượng có thể giảm công suất đầu vào tới 60%, giảm tác động đến môi trường và giảm chi phí sở hữu

Công nghệ rào cản khí và cải tiến thiết kế nhiệt cho khả năng chống ăn mòn cao hơn gấp 4 lần so với dòng sản phẩm trước đây của chúng tôi

Các tính năng xử lý bột tiên tiến mang lại độ tin cậy tối đa và kéo dài tuổi thọ của máy bơm cho các quy trình khắc nhiều lớp

Giảm mức tiêu thụ điện năng cho các quá trình CVD

Thiết kế nhỏ gọn và nhẹ, kết hợp với độ ồn và độ rung cực thấp, mang đến cho bạn tính linh hoạt hơn

Dòng sản phẩm iXM có công nghệ XCEDE giúp tăng cường khả năng chống ăn mòn.

Dòng iXM – sử dụng ít năng lượng, hiệu suất cao

Dòng iXH dành cho môi trường khắc nghiệt

Dòng iXL dành cho các ứng dụng nhẹ

Thông số kỹ thuật bơm hút chân không khô Edwards iXL500Q