Bơm hút chân không khô Edwards dòng EPX 180

 Bơm hút chân không khô Edwards dòng EPX 180

Dòng EPX cung cấp giải pháp bơm chân không lắp trực tiếp trên thiết bị công nghệ (on-tool) với thiết kế nhỏ gọn, nhẹ và chỉ tiêu thụ khoảng 1,4 kW điện năng.

Nhờ sử dụng cơ cấu bơm độc quyền đã được cấp bằng sáng chế, kết hợp giữa tầng tái sinh (regenerative stage) và tầng Holweck® trên một trục duy nhất, bơm EPX có khả năng hút trực tiếp từ áp suất khí quyển xuống áp suất chân không cuối nhỏ hơn:

7 × 10⁻⁷ Torr ≈ 9,3 × 10⁻⁷ mbar ≈ 9,3 × 10⁻⁵ Pa

Với cấu trúc mô-đun và hiệu suất cao, bơm EPX có thể:

- Tích hợp trực tiếp trên thiết bị công nghệ.

- Hoặc lắp đặt từ xa và kết nối với thiết bị bằng đường ống chân không.

-Giao tiếp đơn giản với thiết bị công nghệ nhờ hệ thống điện tử điều khiển tích hợp.

Dòng EPX phù hợp với các quy trình bán dẫn sạch và tải nhẹ, chẳng hạn như:

- Quy trình ash/strip: loại bỏ lớp quang trở bằng plasma.

- Buồng đầu cuối của hệ thống cấy ion (ion implant end station).

Dòng Edwards EPX 180 gồm các bơm khô chân không cao, không sử dụng dầu, có thiết kế nhỏ gọn và được phát triển chuyên biệt cho ngành:

- Sản xuất chất bán dẫn.

- Sản xuất màn hình phẳng.

Bơm sử dụng cơ cấu Regenerative–Holweck độc quyền, cho phép hút liên tục từ áp suất khí quyển xuống vùng chân không cao.

Phân biệt phiên bản L và N

Lưu ý: Phiên bản N không nên hiểu là dùng cho khí ăn mòn mạnh. Khí N₂ purge chủ yếu giúp pha loãng, hạn chế ngưng tụ và giảm sự tích tụ của sản phẩm phản ứng bên trong bơm.

Phân biệt phiên bản tiêu chuẩn E-Series

EPX TWIN 180L QC 200V

EPX Twin 180L QC 200V là bơm khô tích hợp tất cả trong một, có khả năng hút từ áp suất khí quyển xuống chân không cao.

Khác với cấu hình chân không truyền thống, EPX Twin không cần sử dụng riêng:

- Bơm sơ cấp/backing pump.

- Bơm turbo phân tử.

Khả năng này có được nhờ kiến trúc bơm hai tầng Twin đã được cấp bằng sáng chế.

Trong tên model:

- 180L: phiên bản dành cho ứng dụng sạch/tải nhẹ.

- QC: phiên bản kết nối hoặc cấu hình nhanh, cần đối chiếu tài liệu cấu hình chính thức để xác định chính xác kiểu giao diện.

-200V: điện áp nguồn danh định 200 V.

Đặc điểm và lợi ích

- Cơ cấu bơm độc quyền: đạt áp suất cuối thấp và độ rung nhỏ.

- Độ tin cậy cao: chi phí bảo dưỡng thấp, không yêu cầu bảo dưỡng định kỳ theo chu kỳ thông thường.

- Phạm vi ứng dụng rộng: phù hợp với nhiều công đoạn chân không sạch.

- Hiệu suất năng lượng cao: tiêu thụ điện thấp và có chế độ chạy chờ.

- Tiết kiệm diện tích sub-fab: giảm số lượng bơm và không gian lắp đặt phụ trợ.

- Lắp đặt linh hoạt: có thể lắp tại điểm sử dụng hoặc lắp từ xa.

- Nhỏ và nhẹ: thuận tiện tích hợp trên thiết bị.

- Kết nối nhanh: giao diện dạng “cắm và vận hành” với thiết bị công nghệ.

Các phiên bản :

Một số hình ảnh :