Bơm hút chân không khô Edwads dòng EPX 500

Bơm hút chân không khô Edwads dòng EPX 500

Edwards EPX 500 là dòng bơm chân không khô cao áp, không dầu, có khả năng hút trực tiếp từ áp suất khí quyển xuống dưới:

- <1 × 10⁻⁶ mbar =  <7 × 10⁻⁷ Torr = <1 × 10⁻⁴ Pa

Bơm sử dụng cơ cấu một trục độc quyền, kết hợp:

- Các tầng bơm tái sinh – regenerative stages.

- Tầng kéo phân tử xoắn Holweck® – Holweck molecular-drag stage.

Nhờ đó, một bơm EPX 500 có thể thực hiện đồng thời chức năng của bơm sơ cấp và bơm chân không cao trong nhiều ứng dụng sạch, không cần kết hợp riêng bơm sơ cấp với bơm turbo.

Về phân loại chân không, mức 10⁻⁶ mbar thuộc vùng chân không cao – high vacuum, chưa nên gọi là chân không siêu cao – UHV theo cách phân loại kỹ thuật thông thường.

Model	N2 Purge	EUC điều khiển tại chỗ	Phương thức điều khiển chính	Phạm vi ứng dụng
EPX 500L	Không	Không	Điều khiển từ máy công nghệ qua TIM	Quy trình sạch, khí trơ
EPX 500LE	Không	Có	Vận hành độc lập, qua mạng hoặc qua TIM	Quy trình sạch, cần điều khiển tại chỗ
EPX 500 N	Có	Không	Điều khiển từ máy công nghệ qua TIM	Quy trình tải nhẹ có hơi hoặc Carryover
EPX 500NE	Có	Có	Vận hành độc lập, qua mạng hoặc qua TIM	Quy trình tải nhẹ có hơi, cần điều khiển tại chỗ

 

1. Edwards EPX 500L

EPX 500L là phiên bản dành cho ứng dụng sạch, chủ yếu hút không khí hoặc hỗn hợp khí trơ, không phát sinh lượng đáng kể:

- Hơi có khả năng ngưng tụ.

- Bụi và hạt rắn.

- Sản phẩm phụ của quá trình.

- Khí ăn mòn hoặc khí phản ứng.

Ứng dụng phù hợp:

- Load lock.

- Transfer chamber.

- Wafer handling.

- Metrology.

- Lithography.

- Buồng trung chuyển của hệ thống PVD.

- Các buồng công nghệ sạch có tải khí nhẹ.

Phương thức điều khiển

EPX 500L không được thiết kế để khởi động và vận hành thủ công trực tiếp tại bơm. Bơm phải được điều khiển bởi máy công nghệ thông qua Tool Interface Module – TIM.

TIM thực hiện các chức năng như:

- Run/Start.

- Stop.

- Báo trạng thái chạy.

- Warning/Alarm.

- Liên động với máy công nghệ.

Tùy cấu hình đặt hàng, Edwards cung cấp các chuẩn TIM như SPI, C3, TEL, E73, MCM hoặc HIT.

Khi nào chọn EPX 500L?

Chọn EPX 500L khi:

- Thiết bị đã có PLC hoặc bộ điều khiển trung tâm.

- Bơm được tích hợp cố định vào máy sản xuất.

- Quá trình chỉ có khí sạch hoặc khí trơ.

- Không cần vận hành độc lập bằng màn hình tại bơm.

2. Edwards EPX 500LE

EPX 500LE có cùng cơ cấu bơm và cùng phạm vi ứng dụng sạch như EPX 500L, nhưng được bổ sung:

End User Controller – EUC

EUC cho phép:

- Khởi động và dừng bơm tại chỗ.

- Hiển thị trạng thái vận hành.

- Hiển thị cảnh báo và lỗi.

- Cài đặt, kiểm tra các thông số vận hành.

- Kết nối mạng để giám sát và điều khiển từ xa.

- Kết nối thêm Pump Display Terminal – PDT nếu cần bố trí bảng điều khiển ở vị trí khác.

EPX 500LE có thể vận hành trực tiếp bằng EUC nên không bắt buộc phải có TIM nếu dùng như một bơm độc lập. Tuy nhiên, TIM vẫn có thể được trang bị nếu bơm cần liên động với máy công nghệ.

Khi điều khiển qua TIM, EUC chủ yếu thực hiện nhiệm vụ hiển thị và giám sát trạng thái.

Khi nào chọn EPX 500LE?

Chọn EPX 500LE khi:

- Bơm được sử dụng độc lập hoặc lắp trong hệ thống do Maker  thiết kế.

- Người vận hành cần Start/Stop tại chỗ.

- Khách hàng cần xem trạng thái và mã lỗi trực tiếp.

- Cần kết nối mạng để giám sát tập trung.

- Hệ thống không có giao diện TIM phù hợp.

3. Edwards EPX 500N

EPX 500N là phiên bản dành cho quy trình tải nhẹ có khí hoặc hơi công nghệ đi qua bơm.

Điểm khác biệt quan trọng là bơm có Gas Module, cung cấp khí Nitơ purge vào:

- Khu vực phớt trục.

- Các tầng và vùng cơ cấu bơm.

N₂ purge có tác dụng:

Pha loãng hơi công nghệ.

- Hạn chế hơi ngưng tụ bên trong bơm.

- Giảm tích tụ sản phẩm phụ.

- Bảo vệ khu vực phớt trục.

- Giảm nguy cơ khí công nghệ xâm nhập vào khu vực motor hoặc ổ trục.

Theo catalogue, lưu lượng N₂ sử dụng điển hình khoảng:

25 slm – standard litre per minute

Bơm có công tắc giám sát lưu lượng purge. Nếu lưu lượng giảm xuống dưới khoảng 12 slm, hệ thống sẽ phát cảnh báo lưu lượng thấp. Tuy nhiên, công tắc này chỉ xác nhận có lưu lượng, không bảo đảm lưu lượng đó đã đủ an toàn cho từng loại khí công nghệ.

Ứng dụng phù hợp

- Ashing/strip tải nhẹ.

- Implant end station.

- PVD pre-clean.

- Các quy trình có một lượng nhỏ hơi hoặc sản phẩm carryover.

- Khí không ăn mòn hoặc có mức phản ứng thấp, sau khi đã được Edwards xác nhận tương thích.

Phương thức điều khiển

Giống EPX 500L, EPX 500N không có EUC nên phải điều khiển từ thiết bị công nghệ bên ngoài thông qua TIM.

Khi nào chọn EPX 500N?

Chọn EPX 500N khi:

- Có khả năng hơi hoặc sản phẩm công nghệ đi vào bơm.

- Cần N₂ purge để pha loãng và hạn chế ngưng tụ.

- Thiết bị đã có PLC hoặc tool controller.

- Không cần điều khiển trực tiếp tại bơm.

4. Edwards EPX 500NE

EPX 500NE là phiên bản đầy đủ nhất, kết hợp:

- Gas Module cấp N₂ purge của phiên bản N.

- End User Controller – EUC của phiên bản E.

Bơm phù hợp với ứng dụng tải nhẹ có hơi hoặc process carryover, đồng thời cho phép:

- Start/Stop tại chỗ.

- Hiển thị trạng thái và cảnh báo.

- Theo dõi tình trạng N₂ purge.

- Vận hành độc lập không cần TIM.

- Kết nối mạng để điều khiển và giám sát từ xa.

- Kết nối TIM nếu cần tích hợp với máy công nghệ.

Khi nào chọn EPX 500NE?

Chọn EPX 500NE khi:

- Hệ thống có hơi hoặc khí công nghệ tải nhẹ.

- Cần bảo vệ bơm bằng N₂ purge.

- Bơm được dùng độc lập hoặc tích hợp trong hệ thống không có controller chuyên dụng.

- Khách hàng cần cả điều khiển tại chỗ và giám sát từ xa.

Thông số kỹ thuật chính

Theo tài liệu Edwards EPX Issue C

Thông số	EPX 500L/LE	EPX 500N/NE
Lưu lượng bơm tối đa	500 m3/h	500 m3/h
Độ chân không tối đa	< 1x E-6 mbar	< 1x E-6 mbar
Lưu lượng khí N2	0 slm	25 slm
Kích thước cổng hút	ISO 160	ISO 160
Kích thước cổng xả	MW 25	NW 25
Độ ồn	Khoảng 56 dB ( A )	Khoảng 56 dB ( A )
Nước giải nhiệt	120 L/H	120 L/H
Trọng lượng	45 kg	47 kg
Công suất tiêu thụ điện tại áp suất chân không tối đa	Khoảng 1,6 kW	Khoảng 1,8 kW
Công suất định mức	Khoảng 3 kW	Khoảng 3 kW

 

Một số tài liệu hoặc phiên bản sản phẩm cũ ghi 1,4 kW cho L/LE và 1,6 kW cho N/NE. Khi làm báo giá, cần xác nhận theo Code No., điện áp và revision catalogue cụ thể.

Bơm có các lựa chọn nguồn điện:

- 200/208 V, 3 pha, 50/60 Hz.

- 400 V, 3 pha, 50/60 Hz.

Lưu ý kỹ thuật quan trọng

1. N/NE không phải là bơm chuyên dụng cho hóa chất ăn mòn nặng.

    N₂ purge chỉ giúp pha loãng và bảo vệ bơm trong ứng dụng tải nhẹ. Không nên mô tả N/NE là phù hợp chung cho mọi khí ăn mòn hoặc hóa chất phản ứng.

2. Không sử dụng EPX để hút hỗn hợp nổ hoặc khí pyrophoric.

    Đây là giới hạn được nêu rõ trong hướng dẫn của Edwards.

3. N₂ purge không tự động biến hệ thống thành hệ thống chống cháy nổ.

    Nếu có khí dễ cháy, người thiết kế phải bảo đảm nồng độ được pha loãng xuống mức an toàn và trang bị đầy đủ interlock, giám sát lưu lượng và hệ thống hút xả.

4. “Zero periodic maintenance” là cách mô tả marketing.

    Ý nghĩa thực tế là không phải thay dầu định kỳ vì buồng bơm không dầu. Edwards vẫn yêu cầu kiểm tra đường ống, kết nối định kỳ và thời gian đại tu thường khoảng 2–5 năm, tùy điều kiện vận hành.

Một số hình ảnh :