Bơm hút chân không khô dùng trong công nghệ bán dẫn Edwards iXH1820

Bơm hút chân không khô dùng trong công nghệ bán dẫn Edwards iXH1820

Xanh hơn, đáng tin cậy hơn với chi phí sở hữu thấp hơn

Dòng bơm chân không khô tiên tiến của chúng tôi mang đến công nghệ hiện đại nhằm nâng cao hiệu quả cho các môi trường sản xuất bán dẫn và điện tử.

Mỗi dòng sản phẩm được thiết kế chuyên biệt

Mỗi dòng bơm được thiết kế riêng để mang lại lợi thế về hiệu suất môi trường, độ tin cậy trong các điều kiện vận hành khắc nghiệt và tính linh hoạt trong các ứng dụng tải nhẹ.

Dòng bơm khô iXH1820

Dòng bơm khô iXH thiết lập tiêu chuẩn mới về khả năng xử lý quy trình khắc nghiệt, độ tin cậy cao và chi phí sở hữu thấp.

Tối ưu hóa cho các quy trình khắc nghiệt

Dải nhiệt độ làm việc rộng giúp tối ưu hóa hoạt động của bơm, giảm thiểu sự tích tụ sản phẩm phụ do ngưng tụ và quá trình phủ bám (plating).

Các bơm khô iXH Mk2 có tuổi thọ dài hơn ngay cả trong những quy trình khắc nghiệt nhất, đồng thời cải thiện đáng kể hiệu suất sử dụng điện năng.

Công nghệ phớt bơm tiên tiến giúp kéo dài tuổi thọ quy trình và giảm nguy cơ rò rỉ.

Tùy chọn chống ăn mòn cao

Có sẵn công nghệ xCEDE để tăng cường khả năng chống ăn mòn.

Bảng thông số kỹ thuật :