Bơm chân không khô Edwards iXL

Bơm chân không khô Edwards iXL cho dây chuyền màn hình phẳng và pin mặt trời

Edwards iXL là dòng hệ thống bơm chân không khô dành cho buồng loadlock và các công đoạn sử dụng khí không phản ứng trong sản xuất màn hình phẳng (FPD) và pin mặt trời. Dòng sản phẩm đáp ứng nhu cầu hút chân không từ các buồng nhỏ thuộc thế hệ Gen 4 đến các buồng lớn thuộc Gen 8 và Gen 10.

iXL được thiết kế để rút ngắn thời gian hút buồng, qua đó hỗ trợ tăng năng suất dây chuyền. Hệ thống có kết cấu gọn, chịu được các chu kỳ hút lặp lại thường xuyên và không yêu cầu bảo dưỡng định kỳ giữa các lần đại tu. Nhiều hệ thống bơm có thể được tích hợp với một điểm kết nối chung cho tiện ích, điều khiển và giám sát, giúp đơn giản hóa việc lắp đặt.

Đặc điểm nổi bật

- Tốc độ hút cao ở vùng áp suất khí quyển, phù hợp với yêu cầu hút nhanh buồng loadlock.

- Thiết kế hướng đến giảm điện năng tiêu thụ, diện tích lắp đặt và khối lượng hệ thống.

-Hỗ trợ các phương án điều khiển và giám sát tại chỗ hoặc từ hệ thống bên ngoài, bao gồm Edwards Fabworks.

- Tương thích SEMI E54, hỗ trợ chế độ Green Mode; tài liệu của Edwards cũng nêu các tiêu chuẩn UL, CE và S2.

Thông số kỹ thuật dòng iXL của Edwards

Một số hình ảnh sản phẩm :