Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards - An Tài Lộc – Chuyên gia giải pháp chân không tại Việt Nam An Tài Lộc là đơn vị uy tín tại Việt Nam chuyên cung cấp bơm hút chân không chính hãng Edwards – thương hiệu hàng đầu thế giới đến từ Vương quốc Anh. Chúng tôi mang đến các giải pháp chân không toàn diện cho khách hàng : Cung cấp bơm, sửa chữa bơm.
Hỗ trợ vận chuyển
Hỗ trợ vận chuyển toàn quốc
Dịch vụ chuyên nghiệp
Tận tâm phục vụ khách hàng
Chứng nhận chất lượng
Sản phẩm chính hãng
Hotline: 0915 933 355
Hỗ trợ 24/7
Về HVP Vacuum Solutions
HVP Vacuum Solutions
Đại diện phân phối các sản phẩm Edwards tại Việt Nam
Kinh doanh trong lĩnh vực hàng công nghiệp, hơn ai hết, HVP Vacuum Solutions tin rằng: sản phẩm công nghiệp chỉ có thể phát huy hết tác dụng khi Khách hàng hiểu rõ tính năng và cách dùng. Chính vì thế, chúng tôi tâm niệm mang kiến thức, kinh nghiệm để phục vụ khách hàng bằng sự tận tâm và nhiệt huyết của người kỹ sư...
Xem thêm
Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD.
Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD. Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD – Giải pháp khôi phục hiệu suất, nâng cao chất lượng lớp phủ Trong ngành gia công khuôn mẫu, dao cắt, dụng cụ chính xác, linh kiện ô tô, điện tử và y tế, máy phủ PVD (Physical Vapor Deposition) đóng vai trò quyết định đến chất lượng sản phẩm. Tuy nhiên, sau nhiều năm vận hành, hệ thống PVD thường gặp các sự cố như không đạt chân không, thời gian hút kéo dài, lớp phủ không đồng đều, hồ quang không ổn định hoặc năng suất suy giảm. Những sự cố này nếu không được xử lý đúng kỹ thuật sẽ làm tăng tỷ lệ hàng lỗi, tiêu hao vật tư, giảm tuổi thọ thiết bị và gây thiệt hại lớn về chi phí sản xuất. Với nhiều năm kinh nghiệm trong lĩnh vực hệ thống chân không công nghiệp, ATL – An Tài Lộc cung cấp dịch vụ sửa chữa, bảo dưỡng và tối ưu hóa máy phủ PVD cùng toàn bộ hệ thống chân không, giúp khách hàng nhanh chóng khôi phục hiệu suất thiết bị và kéo dài tuổi thọ máy. Máy phủ PVD gồm những hệ thống nào? Một hệ thống phủ PVD hiện đại không chỉ bao gồm buồng phủ mà còn là sự kết hợp của nhiều hệ thống phức tạp. Thông thường gồm: 1 Buồng chân không (Vacuum Chamber) 2 Bơm chân không sơ cấp 3 Booster Pump 4 Bơm Turbo phân tử 5 Cryogenic Pump hoặc Polycold 6 Bơm khuếch tán (đối với một số dòng máy) 7 Hệ thống cấp khí Ar, N₂, O₂… 8 Nguồn DC / Pulsed DC / MF / RF 9 Cathode hoặc Magnetron 10 Hệ thống Bias 11 Bộ điều khiển PLC 12 Cảm biến áp suất chân không 13 Van chân không 14 Hệ thống làm mát nước 15 Hệ thống quay sản phẩm 16 Jig gá sản phẩm… Chỉ cần một trong các hệ thống trên hoạt động không ổn định sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến toàn bộ quá trình phủ. Những sự cố thường gặp trên máy phủ PVD 1. Máy không đạt áp suất chân không yêu cầu Đây là lỗi phổ biến nhất. Ví dụ: Yêu cầu áp chân không: 2×10⁻⁵ mbar Thực tế : chỉ đạt 3×10⁻³ mbar Nguyên nhân có thể là: 1 Rò rỉ chân không 2 O-ring lão hóa 3 Van Vacuum rò rỉ 4 Bơm chân không chính kém 5 Bơm tăng áp hỏng 6 Bơm Turbo phân tử không đạt tốc độ 7 Bơm khuếch tán nhiễm bẩn 8 Polycold mất khả năng bẫy hơi nước 9 Buồng chân không nhiễm bẩn .. ATL sử dụng: 1 Máy đo rò rỉ ELD 500 của Edwards 2 Các đồng hồ cảm biến chân không của Edwards có độ chính xác cao Mục đích để xác định chính xác nguyên nhân thay vì thay thế linh kiện theo kinh nghiệm. 2. Thời gian Pump Down kéo dài. Ví dụ: Thông số thiết kế: 20 phút Thực tế: 60 phút Nguyên nhân thường gặp: 1 Bơm tăng áp không hoạt động 2 Bơm khuếch tán chưa đủ nhiệt 3 Cooling Water không đúng lưu lượng 4 Valve timing sai 5 Chamber bám dầu 6 Leak nhỏ 7 Gas ballast mở 8 Hơi nước tích tụ ATL sẽ phân tích: Pump Down Curve để xác định từng giai đoạn: - Bơm chân không sơ cấp - Bơm chân không thứ cấp - Bơm chân không cao , khuếch tán or Turbo Từ đó xác định lỗi chính xác. 3. Lớp phủ không đồng đều Biểu hiện: 1 Màu không đều 2 Độ dày lệch 3 Một bên sáng 4 Một bên tối 5 Sản phẩm bị vàng 6 Sản phẩm bị chấm đen Nguyên nhân: 1 Jig quay không đều 2 Cathode lệch 3 Magnet yếu 4 Plasma phân bố không đồng đều 5 Áp suất quá cao 6 Target mòn lệch 7 Bias Voltage sai 8 Buồng chân không có hơi dầu ATL sẽ: 1 Kiểm tra plasma 2 Kiểm tra tốc độ quay 3 Kiểm tra Target erosion 4 Kiểm tra Magnetic Field Để tối ưu chất lượng coating. 4. Hồ quang (Arc) xuất hiện liên tục Arc liên tục gây: 1 Rỗ bề mặt 2 Bắn kim loại 3 Bong lớp phủ 4 Giảm tuổi thọ Target Nguyên nhân: 1 Target bẩn 2 Cooling kém 3 Nguồn điện lỗi 4 Plasma không ổn định 5 Vacuum không đạt ATL sẽ kiểm tra toàn bộ: - Arc Source - Cathode - Cooling - Water Flow - Target - Vacuum Stability 5. Lớp phủ bong tróc Đây là lỗi làm khách hàng mất nhiều chi phí nhất. Nguyên nhân có thể gồm: - Làm sạch chưa đạt - Áp suất nền cao - Outgassing - Bias sai - Ion Etching chưa đủ - Nhiễm dầu chân không - Chamber bẩn ATL sẽ đánh giá toàn bộ quy trình phủ thay vì chỉ sửa máy. 6. Máy phủ tiêu hao Target bất thường Nếu Target mòn nhanh bất thường có thể do: - Magnet lệch - Cooling không đủ - Arc quá nhiều - Current quá cao - Plasma mất cân bằng Việc kiểm tra sẽ giúp giảm đáng kể chi phí vật tư. 7. Hệ thống Polycold hoạt động không hiệu quả Polycold có nhiệm vụ: - Bẫy hơi nước -...
14/07/2026
Máy phủ PVD PLATIT Thụy Sĩ – Giải pháp phủ cứng PVD hàng đầu cho dụng cụ cắt và khuôn mẫu
Máy phủ PVD PLATIT Thụy Sĩ – Giải pháp phủ cứng PVD hàng đầu cho dụng cụ cắt và khuôn mẫu Giới thiệu về PLATIT PLATIT là thương hiệu máy phủ PVD cao cấp đến từ Thụy Sĩ, chuyên phát triển các hệ thống phủ PVD ứng dụng công nghệ Hồ quang Catốt (Cathodic Arc), Phún xạ (Sputtering) và HiPIMS. Với hơn 650 hệ thống đã được lắp đặt trên toàn thế giới, PLATIT là một trong những nhà sản xuất máy phủ PVD được nhiều doanh nghiệp trong ngành gia công cơ khí chính xác, khuôn mẫu và dụng cụ cắt lựa chọn. Thiết kế mô-đun giúp khách hàng dễ dàng nâng cấp, mở rộng công nghệ và tối ưu chi phí đầu tư trong tương lai. Ưu điểm nổi bật của máy phủ PVD PLATIT - Công nghệ phủ PVD tiên tiến từ Thụy Sĩ - Thiết kế Module dễ nâng cấp - Chất lượng lớp phủ đồng đều - Chu kỳ phủ nhanh - Hiệu suất sản xuất cao - Giao diện điều khiển thông minh - Hỗ trợ chẩn đoán và bảo trì từ xa - Phù hợp sản xuất liên tục 24/7 - Có thể tích hợp nhiều công nghệ phủ trong cùng một hệ thống - Hệ sinh thái xử lý trước và sau phủ hoàn chỉnh Hệ thống giải pháp phủ hoàn chỉnh PLATIT không chỉ cung cấp máy phủ PVD mà còn cung cấp toàn bộ dây chuyền bao gồm: - Tẩy lớp phủ cũ - Xử lý mép dao - Làm sạch trước phủ - Máy phủ PVD - Xử lý sau phủ - Kiểm tra chất lượng Nhờ đó khách hàng có thể xây dựng một dây chuyền phủ hoàn chỉnh với hiệu suất cao và chất lượng ổn định. Các dòng máy phủ PVD PLATIT 1. PLATIT Pi111 G3 Giải pháp đầu tư tối ưu cho doanh nghiệp Pi111 G3 là thế hệ thứ ba của dòng máy phủ PVD cỡ nhỏ. Đặc điểm nổi bật - Chi phí đầu tư hợp lý - Chu kỳ phủ ngắn - Dễ vận hành - Hiệu suất phủ cao - Phù hợp doanh nghiệp mới đầu tư công nghệ PVD - Phù hợp sản xuất số lượng nhỏ đến trung bình Công nghệ - 2 Cathode LARC PLUS - Công nghệ hồ quang Catốt - Có thể nâng cấp phủ TiCN - Hiệu suất sử dụng Target tăng tới 30% - Tốc độ phủ nhanh hơn thế hệ cũ - Thay Cathode nhanh 2. PLATIT Pi111 TRM Máy phủ PVD công nghệ cao dành cho dụng cụ siêu chính xác Pi111 TRM sử dụng công nghệ Twin Rotating Magnet (TRM) độc quyền của PLATIT. Ưu điểm - Lớp phủ đặc chắc - Hầu như không tạo Droplet - Độ nhẵn bề mặt rất cao - Phù hợp Micro Tool - Phù hợp Dao taro - Dao doa - Dao phay nhỏ - Dao khoan siêu nhỏ - Dụng cụ có hình dạng phức tạp Công nghệ xử lý bề mặt trước phủ Máy hỗ trợ nhiều công nghệ Etching - LGD - Plasma Argon Etching - Metal Ion Etching (Ti/Cr) Giúp tăng độ bám dính của lớp phủ và kéo dài tuổi thọ dụng cụ. Năng lực sản xuất Thông số Giá trị Đường kính buồng phủ Ø353 mm Chiều cao phủ 498 mm Chiều cao làm việc 414 mm Tải trọng tối đa 160 kg Số mẻ/ngày 4–5 mẻ Hệ thống chuyển động Pi111 G3 - Carousel 2 trục - Hệ thống truyền động 3D Pi111 TRM - Hệ thống quay 4 trục - Nhiều loại gá kẹp cho các sản phẩm khác nhau Phần mềm điều khiển thông minh - PLC + PC công nghiệp - Màn hình cảm ứng - Theo dõi toàn bộ quy trình theo thời gian thực - Lưu trữ dữ liệu - Điều khiển tự động - Điều khiển thủ công - Chẩn đoán từ xa - Bảo trì từ xa Thông số kích thước - Kích thước máy: - Rộng: 1.930 mm - Sâu: 1.560 mm - Cao: 2.220 mm An Tài Lộc – Nhà phân phối máy phủ PVD PLATIT tại Việt Nam Công ty TNHH Thương mại và Dịch vụ An Tài Lộc (ATL) cung cấp: - Tư vấn lựa chọn máy phủ PVD phù hợp - Lắp đặt và chuyển giao công nghệ - Đào tạo vận hành - Bảo trì, bảo dưỡng - Cung cấp phụ tùng chính hãng - Hỗ trợ kỹ thuật trong suốt quá trình sử dụng Liên hệ Hotline: 0915 933 355 Email: info@apsuatchankhong.com Website: www.photlamkin.com
14/07/2026
Tầm quan trọng của việc lắp đặt và vận hành đúng kỹ thuật bơm Turbo phân tử
Tầm quan trọng của việc lắp đặt và vận hành đúng kỹ thuật bơm Turbo phân tử Lắp đặt đúng – Nền tảng cho hiệu suất và tuổi thọ của hệ thống chân không Bơm Turbo phân tử (Turbomolecular Pump) là thiết bị tạo chân không cao và siêu cao (High Vacuum và Ultra High Vacuum), được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp bán dẫn, nghiên cứu khoa học, quang học, phủ màng mỏng, phân tích khối phổ, sản xuất pin, màn hình OLED và nhiều ứng dụng công nghệ cao khác. Khác với các loại bơm chân không thông thường, bơm Turbo phân tử hoạt động ở tốc độ quay cực cao, có thể đạt từ 24.000 đến hơn 90.000 vòng/phút tùy theo từng model. Chính vì vậy, việc lắp đặt và vận hành đúng kỹ thuật không chỉ quyết định hiệu suất hút chân không mà còn ảnh hưởng trực tiếp đến độ bền, độ an toàn và chi phí vận hành của toàn bộ hệ thống. 1. Đảm bảo đạt áp suất chân không theo thiết kế Một hệ thống chân không chỉ có thể đạt được áp suất yêu cầu khi toàn bộ các thành phần được lắp đặt chính xác. Nếu mặt bích bị lệch, gioăng O-ring lắp sai, lực siết bulông không đồng đều hoặc tồn tại các điểm rò rỉ nhỏ, áp suất chân không sẽ không đạt thiết kế. Điều này làm tăng thời gian hút chân không (Pump Down Time), giảm năng suất sản xuất và ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Trong ngành bán dẫn, chỉ một lượng rò rỉ rất nhỏ cũng có thể khiến toàn bộ quá trình xử lý wafer không đạt yêu cầu. 2. Bảo vệ rotor và ổ đỡ từ của bơm Turbo Nhiều dòng bơm Turbo hiện đại sử dụng công nghệ ổ đỡ từ (Magnetic Bearing), cho phép rotor quay với tốc độ rất cao mà không tiếp xúc cơ khí. Nếu quá trình lắp đặt không đúng kỹ thuật, đường ống tạo lực kéo hoặc lực nén lên thân bơm, rotor sẽ chịu tải bất thường, dẫn đến: - Tăng độ rung. - Mất cân bằng rotor. - Báo lỗi bảo vệ. - Va chạm giữa rotor và stator. - Hư hỏng nghiêm trọng với chi phí sửa chữa rất lớn. Việc căn chỉnh chính xác ngay từ khi lắp đặt là yếu tố quan trọng giúp bảo vệ thiết bị trong suốt vòng đời sử dụng. 3. Duy trì độ sạch tuyệt đối của hệ thống chân không Một trong những yêu cầu quan trọng nhất của hệ thống chân không cao là độ sạch. Trong quá trình lắp đặt, nếu để bụi kim loại, sợi vải, dầu mỡ thông thường hoặc dấu vân tay bám trên bề mặt chân không, các chất này sẽ phát tán trong quá trình vận hành, làm tăng hiện tượng Outgassing và gây nhiễm bẩn buồng chân không. Điều này đặc biệt nguy hiểm đối với các quy trình: - Semiconductor. - PVD. - CVD. - ALD. - Phủ quang học. - Phân tích khối phổ. - Thiết bị nghiên cứu khoa học. Bởi vậy, việc vệ sinh linh kiện, sử dụng găng tay sạch và tuân thủ quy trình lắp đặt là yêu cầu bắt buộc. 4. Đảm bảo hệ thống làm mát hoạt động hiệu quả Trong quá trình vận hành, động cơ và bộ điều khiển của bơm Turbo sinh ra một lượng nhiệt đáng kể. Nếu hệ thống làm mát không đáp ứng đủ lưu lượng hoặc áp suất, nhiệt độ của bơm sẽ tăng cao, gây: - Giảm tuổi thọ linh kiện điện tử. - Tăng nhiệt độ ổ đỡ. - Báo lỗi quá nhiệt. - Dừng bơm khẩn cấp. - Giảm độ ổn định của hệ thống. Do đó, việc kiểm tra đường nước làm mát hoặc hệ thống làm mát bằng khí trước khi đưa bơm vào hoạt động là bước không thể bỏ qua. 5. Đảm bảo bơm backing hoạt động đúng điều kiện Bơm Turbo luôn cần kết hợp với một bơm sơ cấp (Backing Pump) để duy trì áp suất đầu ra phù hợp. Nếu áp suất backing vượt quá giới hạn cho phép, bơm Turbo sẽ: - Giảm tốc độ quay. - Không đạt tốc độ định mức. - Giảm tốc độ hút. - Báo lỗi hoặc tự động dừng để bảo vệ. Việc lựa chọn đúng công suất bơm backing và thiết kế đường ống phù hợp sẽ giúp toàn bộ hệ thống vận hành ổn định hơn. 6. Giảm rung động và tiếng ồn Một hệ thống được căn chỉnh chính xác sẽ giúp giảm đáng kể rung động trong quá trình vận hành. Điều này mang lại nhiều lợi ích: - Bảo vệ vòng bi và rotor. - Giảm tải cho mặt bích. - Tăng độ chính xác của thiết bị phân tích. - Nâng cao độ ổn định của toàn bộ hệ thống chân không. 7. Nâng cao tuổi thọ thiết bị Chi phí đầu tư một bơm Turbo phân...
25/06/2026
DỊCH VỤ SỬA CHỮA BƠM CHÂN KHÔNG LEYBOLD CHUYÊN NGHIỆP – GIẢI PHÁP TOÀN DIỆN TỪ ATL
DỊCH VỤ SỬA CHỮA BƠM CHÂN KHÔNG LEYBOLD CHUYÊN NGHIỆP – GIẢI PHÁP TOÀN DIỆN TỪ ATL Giới thiệu về bơm chân không Leybold Leybold là thương hiệu công nghệ chân không hàng đầu thế giới có nguồn gốc từ Đức với lịch sử phát triển hơn 170 năm. Các sản phẩm của Leybold được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp yêu cầu độ chân không cao và độ tin cậy tuyệt đối như: * Công nghiệp bán dẫn (Semiconductor) * Điện tử và SMT * Màn hình LCD/OLED * PVD, CVD, Coating * Sản xuất pin Lithium * Y tế và dược phẩm * Sấy thăng hoa thực phẩm và vaccine * Công nghệ phân tích và nghiên cứu khoa học * Công nghiệp năng lượng Các dòng bơm Leybold nổi tiếng như TRIVAC, SCREWLINE, VARODRY, RUVAC, DRYVAC được đánh giá cao về hiệu suất, độ bền và khả năng vận hành liên tục trong môi trường công nghiệp khắc nghiệt. Tuy nhiên, giống như mọi thiết bị cơ khí khác, sau thời gian dài hoạt động, bơm chân không Leybold cần được kiểm tra, bảo dưỡng và sửa chữa để duy trì hiệu suất vận hành tối ưu. Khi nào cần sửa chữa bơm chân không Leybold? Nhiều doanh nghiệp chỉ tiến hành sửa chữa khi bơm đã hư hỏng nghiêm trọng hoặc dừng hoạt động hoàn toàn. Đây là nguyên nhân dẫn đến chi phí sửa chữa cao, thời gian dừng máy kéo dài và ảnh hưởng trực tiếp đến sản xuất. Doanh nghiệp nên tiến hành kiểm tra ngay khi xuất hiện các dấu hiệu sau: Áp suất chân không không đạt yêu cầu * Thời gian hút chân không lâu hơn bình thường * Không đạt được áp suất thiết kế * Chân không dao động bất thường Bơm vận hành phát ra tiếng ồn lớn * Tiếng va đập cơ khí * Tiếng rít bất thường * Độ rung tăng cao Nhiệt độ bơm tăng bất thường * Nhiệt độ thân bơm vượt giới hạn cho phép * Quạt làm mát hoạt động liên tục * Hệ thống bảo vệ quá nhiệt thường xuyên tác động Rò rỉ dầu hoặc khí * Dầu xuất hiện tại vị trí phớt trục * Rò rỉ tại mặt bích hoặc gioăng kín * Xuất hiện khói dầu bất thường tại cửa xả Tiêu thụ điện năng tăng cao * Dòng điện vận hành vượt mức bình thường * Hiệu suất hút giảm nhưng công suất tiêu thụ tăng Nếu các hiện tượng trên không được xử lý kịp thời, bơm có thể gặp hư hỏng nghiêm trọng như gãy trục, bó bi, cháy động cơ hoặc hư hỏng cụm rotor. Các lỗi thường gặp trên bơm Leybold Hỏng vòng bi (Bearing Failure) Đây là một trong những nguyên nhân phổ biến nhất gây hư hỏng bơm chân không. Nguyên nhân: * Dầu bôi trơn bị nhiễm bẩn * Làm việc quá tải * Căn chỉnh sai lệch * Tuổi thọ vòng bi hết hạn Triệu chứng: * Tiếng ồn lớn * Rung động tăng cao * Nhiệt độ ổ trục tăng bất thường Hư hỏng phớt trục (Shaft Seal) Phớt trục là bộ phận quan trọng giúp ngăn ngừa rò rỉ dầu và không khí. Khi phớt bị mòn: * Bơm không đạt chân không * Rò rỉ dầu * Tăng tiêu hao dầu chân không Mài mòn cánh gạt Đối với dòng bơm cánh gạt dầu TRIVAC: * Cánh gạt bị mòn * Lò xo cánh gạt suy yếu * Mặt trong stator bị xước Hậu quả: * Lưu lượng giảm * Áp suất cuối tăng * Hiệu suất suy giảm Nhiễm bẩn buồng bơm Thường gặp trong các ứng dụng: * Hơi nước * Hóa chất * Dung môi * Keo và nhựa * Dầu công nghệ Cặn bẩn tích tụ lâu ngày sẽ làm: * Kẹt rotor * Ăn mòn bề mặt * Giảm hiệu suất chân không Hỏng động cơ điện Các nguyên nhân phổ biến: * Quá dòng * Quá tải * Chập cuộn dây * Mất pha nguồn điện Dịch vụ sửa chữa bơm Leybold tại ATL ATL cung cấp giải pháp sửa chữa toàn diện cho các dòng bơm Leybold tại Việt Nam. Khảo sát và đánh giá hiện trạng Kỹ sư ATL thực hiện: * Đo áp suất chân không thực tế * Kiểm tra độ rung * Kiểm tra nhiệt độ vận hành * Đánh giá tình trạng dầu * Đánh giá mức độ hao mòn cơ khí Sau khảo sát, khách hàng sẽ nhận được báo cáo kỹ thuật chi tiết và phương án sửa chữa tối ưu. Đại tu toàn bộ bơm (Overhaul) Quy trình đại tu tiêu chuẩn bao gồm: Tháo rã hoàn toàn * Thân bơm * Rotor * Trục * Vòng bi * Phớt * Van hút * Van xả Làm sạch chuyên sâu Sử dụng: * Dung môi chuyên dụng * Thiết bị vệ sinh công nghiệp * Công nghệ làm sạch cơ khí Kiểm tra kích thước * Độ đảo trục * Khe hở rotor * Độ mòn ổ trục * Tình trạng bề mặt làm kín Thay thế phụ tùng * Bearing * Shaft Seal * O-ring * Gasket * Van * Cánh gạt * Dầu chân không Lắp ráp và căn chỉnh * Cân chỉnh đồng tâm * Siết lực theo tiêu chuẩn * Kiểm tra khe hở vận hành Chạy thử nghiệm thu Sau sửa chữa, ATL tiến hành: *...
22/06/2026
