Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards - An Tài Lộc – Chuyên gia giải pháp chân không tại Việt Nam
An Tài Lộc là đơn vị uy tín tại Việt Nam chuyên cung cấp bơm hút chân không chính hãng Edwards – thương hiệu hàng đầu thế giới đến từ Vương quốc Anh. Chúng tôi mang đến các giải pháp chân không toàn diện cho khách hàng : Cung cấp bơm, sửa chữa bơm.
Đại diện phân phối các sản phẩm Edwards tại Việt Nam
Kinh doanh trong lĩnh vực hàng công nghiệp, hơn ai hết, HVP Vacuum Solutions tin rằng: sản phẩm công nghiệp chỉ có thể phát huy hết tác dụng khi Khách hàng hiểu rõ tính năng và cách dùng. Chính vì thế, chúng tôi tâm niệm mang kiến thức, kinh nghiệm để phục vụ khách hàng bằng sự tận tâm và nhiệt huyết của người kỹ sư...
Vì sao buồng chân không máy phủ xuất hiện rò rỉ sau nhiều năm vận hành?
Phân tích nguyên nhân tại mối hàn và phương pháp xác định rò rỉ bằng helium
Trong hệ thống phủ màng có hỗ trợ chùm ion (Ion Beam Assisted Deposition – IAD), độ kín của buồng chân không ảnh hưởng đến thời gian hút xuống áp suất làm việc, độ ổn định quá trình và chất lượng lớp phủ. Sau khoảng 7 đến 10 năm vận hành, chamber có thể xuất hiện dấu hiệu áp suất nền tăng, thời gian hút chân không kéo dài hoặc không đạt mức chân không như trước. Các mối hàn cũ là một trong những vị trí cần kiểm tra, đặc biệt tại góc buồng và các cổng xuyên thành chamber.
Tuy nhiên, áp suất xấu đi chưa đủ để kết luận mối hàn bị rò. Gioăng cửa, mặt bích, van, feedthrough, đường nước làm mát và khí thoát ra từ lớp phủ bám trong buồng cũng có thể gây biểu hiện tương tự. Cần đo kiểm để xác định đúng nguyên nhân trước khi sửa chữa.
Vì sao mối hàn có thể mất độ kín?
Mỏi nhiệt do vận hành lặp lại. Trong mỗi chu trình phủ và làm nguội, các vùng của buồng giãn nở và co lại không đồng đều. Ứng suất có thể tập trung ở chân mối hàn, góc kết cấu và vị trí nối giữa cổng thiết bị với thành buồng. Theo thời gian, một vết nứt nhỏ tại những vùng này có thể phát triển thành đường rò xuyên thành buồng.
Khuyết tật tồn tại trong mối hàn cũ. Rỗ khí, thiếu ngấu hoặc vết nứt rất nhỏ có thể là điểm khởi đầu của hư hỏng. Mối hàn từng đạt độ kín khi máy mới không có nghĩa là sẽ duy trì độ kín vô thời hạn dưới tác động của chu kỳ nhiệt và tải cơ học. Việc có khuyết tật tại một mối hàn cụ thể phải được xác nhận bằng kiểm tra thực tế.
Tải từ đường ống và cụm thiết bị. Trọng lượng đường ống chân không, van, nguồn ion hoặc lực phát sinh khi tháo lắp bảo dưỡng có thể truyền đến các cổng hàn trên chamber. Đường ống lắp lệch hoặc thiếu giá đỡ làm tăng ứng suất tại vùng này.
Ảnh hưởng của nước làm mát và ăn mòn cục bộ. Nước rò hoặc đọng lâu ngày ở khe và mặt sau mối hàn có thể gây hư hỏng tùy theo vật liệu và điều kiện vận hành. Nếu nước xâm nhập trực tiếp vào chamber, tải hơi nước tăng cũng khiến thời gian hút chân không kéo dài. Trường hợp này cần kiểm tra riêng độ kín của đường nước.
Phân biệt rò thực với thoát khí
Rò thực là đường thông từ bên ngoài hoặc từ một hệ thống phụ vào thể tích chân không. Thoát khí là khí và hơi nước giải phóng từ bề mặt, lớp phủ bám hoặc chi tiết bên trong buồng. Rò ảo xảy ra khi khí bị giữ trong lỗ ren kín, khe khuất hoặc một thể tích bị bẫy rồi thoát ra chậm.
Các hiện tượng này đều có thể làm áp suất tăng sau khi cô lập chamber. Vì vậy, không nên chỉ dựa vào áp suất cuối để kết luận. Cần xem đường cong áp suất theo thời gian và kết hợp dò rò bằng helium để định vị nguồn rò.
Trình tự kiểm tra đề xuất
1. Ghi nhận tình trạng vận hành: áp suất cuối, thời gian pump-down, mức tăng áp suất khi cô lập chamber, trạng thái nước làm mát và điều kiện buồng nguội hoặc sau khi chạy nóng.
2. Kiểm tra ngoại quan: các mối hàn, góc buồng, cổng xuyên thành, gioăng, mặt bích, feedthrough và đường nước. Đánh dấu vị trí từng sửa hàn, có dấu hiệu ăn mòn hoặc chịu lực từ đường ống.
3. Dò helium theo từng vùng nhỏ: xác định tín hiệu nền và thời gian đáp ứng của máy dò. Cấp helium lần lượt tại từng vị trí, chờ tín hiệu trở về nền trước khi chuyển sang vị trí tiếp theo để tránh nhầm lẫn do helium lan rộng.
4. Xác nhận chính xác nguồn rò: so sánh tín hiệu tại mối hàn với gioăng, mặt bích hoặc phụ kiện nằm sát đó. Với mối hàn dài, có thể bao helium từng đoạn để khoanh vùng.
5. Lập báo cáo : ghi ảnh vị trí, áp suất buồng, tín hiệu nền, tín hiệu cực đại theo đơn vị mbar·L/s và điều kiện thử. Tiêu chí chấp nhận cần đối chiếu với tài liệu của đúng model máy và yêu cầu quá trình phủ.
Xử lý sau khi xác nhận mối hàn rò
Trước khi sửa hàn, cần xác định...
ATL tham gia Hội nghị Đối tác và Đào tạo sản phẩm Edwards tại Malaysia
Vừa qua, đội ngũ của chúng tôi đã tham dự chương trình hội nghị, đào tạo và cập nhật chiến lược kinh doanh do Edwards tổ chức tại Malaysia.
Sự kiện quy tụ đội ngũ quản lý, chuyên gia kỹ thuật và các nhà phân phối của Edwards trong khu vực. Đây là cơ hội để các đối tác cùng trao đổi về kết quả kinh doanh, xu hướng thị trường, định hướng phát triển sản phẩm và chiến lược tăng trưởng trong giai đoạn tiếp theo.
Cập nhật sản phẩm và công nghệ chân không mới
Trong khuôn khổ chương trình, ATL đã tham gia các phiên đào tạo và thực hành chuyên sâu về:
- Lộ trình phát triển các dòng sản phẩm chân không của Edwards.
- Máy đo rò rỉ ELD30 HLD một dòng sản mới có nhiều ưu điểm vượt trội và giá cả phù hợp
- Bộ điều khiển và giám sát hệ thống Edwards VacuumSense Controller.
- Công nghệ bơm ion Gamma dành cho các ứng dụng chân không cao và siêu cao.
- Giải pháp dịch vụ, bảo trì và quản lý thiết bị chân không.
- Các sản phẩm và giải pháp dành cho nhiều ngành công nghiệp khác nhau.
Đặc biệt, các buổi thực hành trực tiếp tại trung tâm kỹ thuật và kho dịch vụ của Edwards giúp đội ngũ ATL hiểu rõ hơn về cấu tạo, nguyên lý vận hành, khả năng ứng dụng và phương pháp hỗ trợ kỹ thuật đối với những sản phẩm mới.
Kết nối và trao đổi kinh nghiệm với các nhà phân phối quốc tế
Bên cạnh các chương trình đào tạo, ATL còn có cơ hội gặp gỡ và trao đổi trực tiếp với các nhà phân phối Edwards đến từ Australia, New Zealand, Thái Lan, Singapore, Malaysia, Philippines và Indonesia.
Thông qua các cuộc trao đổi cởi mở, ATL đã học hỏi thêm nhiều kinh nghiệm thực tế về chiến lược kinh doanh, phát triển thị trường, quản lý dịch vụ và xử lý các vấn đề kỹ thuật trong lĩnh vực chân không.
Đây cũng là dịp để ATL mở rộng mạng lưới quan hệ hợp tác quốc tế, tăng cường kết nối với các đối tác trong khu vực và tham khảo những mô hình kinh doanh, dịch vụ kỹ thuật hiệu quả đang được áp dụng tại nhiều quốc gia.
Trao đổi về chiến lược kinh doanh và xu hướng thị trường
Bên cạnh nội dung kỹ thuật, hội nghị còn tập trung vào chiến lược phát triển kinh doanh toàn cầu và định hướng thị trường của Edwards. Các chủ đề chính bao gồm:
- Đánh giá hoạt động kinh doanh tại từng khu vực.
- Cập nhật chiến lược marketing và phát triển thị trường.
- Chia sẻ kinh nghiệm từ những nhà phân phối có kết quả hoạt động nổi bật.
- Phân tích môi trường cạnh tranh và các phân khúc thị trường tiềm năng.
- Thảo luận về những hỗ trợ cần thiết dành cho hệ thống phân phối.
- Xây dựng định hướng hợp tác và tăng trưởng bền vững trong tương lai.
Thông qua phiên thảo luận “Tiếng nói của nhà phân phối”, ATL đã có cơ hội đóng góp ý kiến, chia sẻ thực tế của thị trường Việt Nam và trao đổi trực tiếp với đội ngũ quản lý Edwards về nhu cầu của khách hàng, chính sách hỗ trợ kỹ thuật cũng như chiến lược phát triển thị trường.
Nâng cao năng lực phục vụ khách hàng tại Việt Nam
Việc thường xuyên tham gia các chương trình đào tạo quốc tế giúp ATL cập nhật kịp thời kiến thức công nghệ, tiêu chuẩn dịch vụ và định hướng phát triển sản phẩm của Edwards.
Những kiến thức và kinh nghiệm thu nhận được từ chương trình sẽ được ATL ứng dụng vào hoạt động tư vấn, lựa chọn thiết bị, lắp đặt, bảo trì và sửa chữa hệ thống chân không tại Việt Nam. Qua đó, ATL hướng tới mục tiêu cung cấp cho khách hàng những giải pháp phù hợp, hiệu quả và đáng tin cậy hơn.
Với tinh thần của chương trình ‘’Cùng nhau thúc đẩy tăng trưởng”, ATL cam kết tiếp tục đầu tư vào năng lực kỹ thuật, chất lượng dịch vụ và sự hợp tác lâu dài với Edwards, nhằm mang những công nghệ chân không tiên tiến, tiết kiệm năng lượng đến gần hơn với khách hàng Việt Nam.
ATL – HVP Vacuum Solutions
Đối tác tin cậy trong lĩnh vực công nghệ và giải pháp chân không.
Công ty TNHH Thương Mại Và Dịch Vụ An Tài Lộc
Thôn Như Lân, Xã Nghĩa Trụ, Tỉnh Hưng Yên
Hotline : 0915 933 355
Email : info@apsuatchankhong.com
www.photlamkin.com
Một số hình ảnh trong buổi đào tạo :
Tầm quan trọng của lớp chân không trong bình chứa khí hóa lỏng XL‑45
Bình XL‑45 là loại bình chân không hai lớp, được thiết kế để lưu trữ và cung cấp các loại khí hóa lỏng ở nhiệt độ cực thấp như oxy lỏng (LOX), nitơ lỏng (LIN) và argon lỏng (LAR). Trong cấu tạo của bình, lớp chân không nằm giữa bình chứa bên trong và vỏ bảo vệ bên ngoài có vai trò quyết định đến khả năng cách nhiệt, tỷ lệ bay hơi, độ an toàn và tuổi thọ thiết bị.
Có thể nói, lớp chân không chính là “trái tim” của hệ thống cách nhiệt bình XL‑45.
1. Cấu tạo cách nhiệt của bình XL‑45
Bình XL‑45 có kết cấu cơ bản gồm:
Bình trong bằng thép không gỉ, trực tiếp chứa khí hóa lỏng.
Vỏ ngoài bằng thép không gỉ, bảo vệ kết cấu bên trong.
Khoang chân không nằm giữa hai lớp vỏ.
Vật liệu siêu cách nhiệt nhiều lớp nhằm hạn chế truyền nhiệt bằng bức xạ.
Vật liệu hấp phụ khí, giúp duy trì độ chân không trong thời gian dài.
Hệ thống van, bộ tạo áp, bộ tiết kiệm khí và bộ hóa hơi tích hợp.
Theo tài liệu của hãng Taylor‑Wharton, XL‑45 có dung tích tổng khoảng 180 lít và dung tích chất lỏng sử dụng khoảng 169 lít. Bình được thiết kế để lưu trữ và vận chuyển oxy lỏng, nitơ lỏng hoặc argon lỏng.
2. Vì sao bình XL‑45 cần lớp chân không?
Các chất lỏng chứa trong bình XL‑45 tồn tại ở nhiệt độ rất thấp:
Nitơ lỏng: khoảng −196°C.
Argon lỏng: khoảng −186°C.
Oxy lỏng: khoảng −183°C.
Trong khi đó, nhiệt độ môi trường thường nằm trong khoảng 20–40°C. Chênh lệch nhiệt độ giữa bên trong và bên ngoài bình có thể vượt quá 200°C.
Nhiệt luôn có xu hướng truyền từ môi trường nóng vào khu vực lạnh hơn. Nếu không có lớp chân không cách nhiệt, nhiệt từ môi trường sẽ nhanh chóng đi vào bình, làm chất lỏng lạnh sâu sôi và chuyển sang trạng thái khí.
Lớp chân không giúp giảm mạnh hai cơ chế truyền nhiệt quan trọng:
Truyền nhiệt đối lưu qua không khí.
Truyền nhiệt dẫn qua các phân tử khí.
Khi mật độ phân tử khí trong khoang cách nhiệt được giảm xuống mức rất thấp, khả năng dẫn và đối lưu nhiệt cũng giảm đáng kể. Phần nhiệt truyền bằng bức xạ tiếp tục được hạn chế nhờ lớp vật liệu siêu cách nhiệt nhiều lớp.
3. Giảm tổn thất khí do bay hơi tự nhiên
Ngay cả khi không sử dụng, một lượng nhỏ khí hóa lỏng trong XL‑45 vẫn hấp thụ nhiệt và bay hơi. Hiện tượng này được gọi là tổn thất bay hơi tự nhiên, thường được đánh giá bằng chỉ số NER – Normal Evaporation Rate.
Theo thông số của nhà sản xuất, tỷ lệ bay hơi danh định của XL‑45 xấp xỉ:
Môi chất
Tỷ lệ bay hơi danh định
Oxy lỏng
1,2% dung tích/ngày
Nitơ lỏng
1,9% dung tích/ngày
Argon lỏng
1,2% dung tích/ngày
Các giá trị trên được xác định trong điều kiện thử nghiệm của nhà sản xuất và có thể thay đổi theo môi trường, chế độ vận hành cũng như tình trạng thực tế của bình.
Nếu lớp chân không suy giảm, lượng nhiệt xâm nhập vào bình sẽ tăng lên. Chất lỏng bay hơi nhanh hơn, gây thất thoát sản phẩm và làm tăng chi phí vận hành. Vì vậy, chất lượng lớp chân không ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả kinh tế của bình XL‑45.
4. Giúp bình duy trì nhiệt độ cực thấp
Lớp chân không không trực tiếp tạo ra nhiệt độ thấp nhưng giúp ngăn nhiệt bên ngoài xâm nhập vào môi chất.
Nhờ đó, XL‑45 có thể:
Duy trì trạng thái lỏng của oxy, nitơ hoặc argon.
Kéo dài thời gian lưu giữ sản phẩm.
Hạn chế sự thay đổi nhiệt độ và áp suất trong bình.
Giảm tần suất xả khí qua van an toàn.
Đảm bảo nguồn cấp khí ổn định hơn cho thiết bị sử dụng.
Khi lớp chân không tốt, vỏ ngoài của bình thường gần với nhiệt độ môi trường, ngoại trừ một số vị trí liên quan đến bộ tạo áp, bộ hóa hơi hoặc đường ống lạnh đang hoạt động.
5. Ổn định áp suất và nâng cao độ an toàn
Khi nhiệt xâm nhập vào bình, khí hóa lỏng sẽ bay hơi và làm áp suất bên trong tăng lên. Hệ thống điều áp và van an toàn có nhiệm vụ kiểm soát áp suất này, nhưng chúng không thể thay thế chức năng của lớp chân không.
Nếu lớp chân không bị mất:
Nhiệt truyền vào bình tăng nhanh.
Chất lỏng hóa hơi mạnh hơn.
Áp suất trong bình tăng liên tục.
Van an toàn phải xả khí thường xuyên.
Môi chất bị thất thoát và khu vực làm việc có thể xuất hiện nguy cơ mất an toàn.
Với oxy, môi...
Mỡ chân không Edwards và các loại mỡ chuyên dụng cho hệ thống chân không
Trong hệ thống chân không, mỡ bôi trơn không chỉ có nhiệm vụ giảm ma sát. Tùy vị trí sử dụng, mỡ còn phải đảm bảo độ kín, áp suất hơi thấp, hạn chế phát khí, chống kẹt ren, chịu nhiệt hoặc kháng hóa chất.
Sử dụng sai loại mỡ có thể gây ra nhiều vấn đề như:
- Tăng thời gian hút chân không.
- Không đạt được áp suất cuối yêu cầu.
- Làm bẩn buồng chân không và sản phẩm.
- Gây nhiễm silicone trong quá trình PVD, coating hoặc phân tích.
- Làm O-ring trương nở, chai cứng hoặc mất tính đàn hồi.
- Tăng ma sát, gây kẹt van và các cơ cấu chuyển động.
- Phản ứng nguy hiểm trong môi trường oxy hoặc hóa chất mạnh.
Danh mục mỡ chân không do Edwards cung cấp gồm nhiều nhóm sản phẩm như Apiezon, Fomblin, Krytox, PFPE, silicone và mỡ chân không đa dụng. Mỗi loại được thiết kế cho một phạm vi áp suất, nhiệt độ và điều kiện công nghệ khác nhau.
1. Mỡ chân không Apiezon
Apiezon là dòng mỡ gốc hydrocarbon chuyên dùng trong các hệ thống chân không khoa học và công nghiệp. Phần lớn sản phẩm Apiezon không chứa silicone, giúp hạn chế hiện tượng mỡ lan khỏi vị trí bôi và giảm nguy cơ nhiễm bẩn bề mặt.
Đây là ưu điểm quan trọng đối với:
Hệ thống PVD và coating.
Kính hiển vi điện tử.
Thiết bị phân tích khối phổ.
Thiết bị quang học.
Phòng thí nghiệm chân không.
Hệ thống yêu cầu độ sạch bề mặt cao.
Apiezon M Grease
Apiezon M là mỡ chân không đa dụng, thích hợp cho các ứng dụng chân không cao ở nhiệt độ môi trường, thông thường khoảng 10–30°C.
Đặc điểm nổi bật:
Không chứa silicone và halogen.
Áp suất hơi khoảng 1,7 \times 10^E-9 Torr tại 20°C.
Khả năng bôi trơn và làm kín tốt.
Hạn chế hiện tượng mỡ lan trên bề mặt.
Có khả năng hấp phụ một phần tạp chất hydrocarbon.
Dễ làm sạch bằng dung môi hydrocarbon phù hợp.
Ứng dụng tiêu biểu:
Bôi trơn và hỗ trợ làm kín O-ring.
Van chân không, khớp nối và các chi tiết chuyển động chậm.
Bảo dưỡng thiết bị chân không.
Thiết bị phân tích, quang phổ và coating.
Các hệ thống làm việc ở nhiệt độ phòng.
Apiezon M không phải lựa chọn tối ưu cho vị trí thường xuyên chịu nhiệt độ cao.
Apiezon L Grease
Apiezon L là mỡ áp suất hơi rất thấp, phù hợp với hệ thống chân không cao và siêu cao ở nhiệt độ môi trường.
Đặc điểm nổi bật:
Áp suất hơi khoảng 7 \times 10^E-11Torr tại 20°C.
Không chứa silicone và halogen.
Khả năng phát khí thấp.
Chống hiện tượng “creep” hoặc lan mỡ.
Có khả năng chịu bức xạ.
Phù hợp với các hệ thống nhạy cảm với nhiễm bẩn.
Ứng dụng:
Hệ thống chân không cao và siêu cao.
Kính hiển vi điện tử.
Thiết bị phân tích bề mặt.
Khối phổ và quang phổ.
Buồng PVD, bay hơi kim loại và coating.
Thiết bị nghiên cứu khoa học.
Cần lưu ý rằng chân không siêu cao sử dụng gioăng kim loại CF thường không bôi mỡ trực tiếp lên bề mặt làm kín. Apiezon L chỉ nên sử dụng tại đúng vị trí được nhà sản xuất thiết bị cho phép.
Apiezon N Grease
Apiezon N có độ đặc và tính đàn hồi cao hơn, giúp tạo lớp đệm cho các mối nối thủy tinh hoặc bộ phận chịu rung động.
Ứng dụng phù hợp:
Thiết bị chân không nhiệt độ thấp.
Hệ thống cryogenic.
Mối nối thủy tinh với thủy tinh.
Van thủy tinh, khóa burette và thiết bị phòng thí nghiệm.
Vị trí cần giảm rung và hạn chế nứt vỡ.
Ở nhiệt độ siêu thấp, sản phẩm chủ yếu hỗ trợ làm kín và tạo đệm; không nên mặc nhiên coi đây là mỡ bôi trơn cho mọi cơ cấu chuyển động cryogenic.
Apiezon T Grease
Apiezon T được phát triển cho phạm vi nhiệt độ trung bình, với khoảng làm việc tham khảo từ 10 đến 120°C và độ đặc tối ưu ở khoảng 25–50°C.
Sản phẩm thích hợp cho:
Thiết bị chân không có gia nhiệt vừa phải.
Van và khớp nối gần vùng nhiệt.
Hệ thống thí nghiệm có chu kỳ thay đổi nhiệt độ.
Các vị trí mà Apiezon M hoặc L trở nên quá mềm do nhiệt.
Apiezon H Grease
Apiezon H là mỡ chân không chịu nhiệt cao. Phạm vi làm việc điển hình có thể từ khoảng −10 đến 240°C, tùy điều kiện thực tế và yêu cầu của thiết bị.
Đặc điểm:
Không nóng chảy theo cách thông thường.
Áp suất hơi thấp.
Không chứa silicone.
Có độ bám tốt trên bề mặt.
Phù hợp với các ứng dụng chân không có nhiệt độ cao.
Ứng dụng:
Lò chân không.
Thiết bị sấy chân không.
Van và cơ cấu truyền động gần buồng gia nhiệt.
Hệ thống coating có chu kỳ gia nhiệt.
Thiết bị nghiên cứu nhiệt độ...