Bơm hút chân không khô Edwards iXH 100

Thương hiệu: Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards Mã: Edwards iXH 100
Chất liệu: Đang cập nhật
Thương hiệu: Đang cập nhật   |   Tình trạng: Còn hàng
Liên hệ
Số lượng:
Chính sách hỗ trợ
Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Vận chuyển miễn phí

Hóa đơn trên 5 triệu
Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Quà tặng

Hóa đơn trên 10 triệu
Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Chứng nhận chất lượng

Sản phẩm chính hãng
Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Hotline: 1900 6750

Hỗ trợ 24/7
Thông tin sản phẩm

 Bơm hút chân không khô Edwards iXH 100

Edwards iXH 100 là dòng máy bơm khô mới được chế tạo cho sản xuất thân thiện với môi trường và xử lý các quy trình hóa học khắc nghiệt. Sử dụng năng lượng rất thấp, cơ chế roost hiệu quả đã được phát triển để giảm đáng kể công suất đầu vào xuống còn 1,3 kW, thấp hơn 60% so với thế hệ máy bơm khô trước đây, giảm tác động môi trường và giảm chi phí sở hữu. Công nghệ rào cản khí và cải tiến thiết kế nhiệt cho phép khả năng chống ăn mòn cao gấp bốn lần so với sản phẩm iH Series. Các tính năng xử lý bột tiên tiến có nghĩa là iXH sẽ mang lại độ tin cậy tối đa và tuổi thọ bơm kéo dài cho các quy trình ăn mòn nhiều lớp và giảm mức tiêu thụ điện năng cho các quy trình CVD, đặc biệt là với Hóa chất HARSH.

Máy bơm sê-ri Edwards iXH 100 được thiết kế nhỏ gọn và trọng lượng nhẹ, với tiếng ồn và độ rung đặc biệt thấp, làm cho iXH trở thành máy bơm khô hóa chất linh hoạt nhất trong dòng sản phẩm Edwards. iXH sẽ thay đổi kỳ vọng của bạn về công nghệ bơm chân không khô, mang lại lợi ích thực sự và tăng thời gian hoạt động, với tác động môi trường tối thiểu. Máy bơm iXH được thiết kế để sử dụng trong hầu hết các quy trình bán dẫn đồng thời giúp giảm đáng kể công suất đầu vào.

 

Tính năng và lợi ích iXH100

Chủ yếu cho các ứng dụng hóa học khắc nghiệt.

Lưu lượng 100 m3/h-1 (59 CFM)

Độ chân không tối đa 1,5 X 10-2 Torr

Ít phải bảo trì phòng ngừa

Chỉ có máy bơm chính ( Không có bơm tăng áp )

Ống nước  nối nhanh 3/8 inch

Kết nối điện & nước

Hệ thống làm mát bằng nước SS

Mô-đun khí đa chế độ 44 slm

APPLICATIONS:

Load Lock

Transfer

Meteorology

Lithography

Physical Vapor Deposition PVD Process

Physical Vapor Deposition PVD Pre-clean

Rapid Thermal Anneal RTA

Strip/Ashing

Etching

Implant Source

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition HDP CVD

Rapid Thermal Processing RTP

Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition SACVD

Tungsten Chemical Vapor Deposition WCVD

Modified Chemical-Vapor Deposition MCVD

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD

Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD

Bạn đã xem

Liên hệ với chúng tôi

Liên hệ

Messenger