Vì sao buồng chân không máy phủ xuất hiện rò rỉ sau nhiều năm vận hành?
Thứ Bảy,
26/09/2026
Nguyễn Văn Huấn
Vì sao buồng chân không máy phủ xuất hiện rò rỉ sau nhiều năm vận hành?
Phân tích nguyên nhân tại mối hàn và phương pháp xác định rò rỉ bằng helium
Trong hệ thống phủ màng có hỗ trợ chùm ion (Ion Beam Assisted Deposition – IAD), độ kín của buồng chân không ảnh hưởng đến thời gian hút xuống áp suất làm việc, độ ổn định quá trình và chất lượng lớp phủ. Sau khoảng 7 đến 10 năm vận hành, chamber có thể xuất hiện dấu hiệu áp suất nền tăng, thời gian hút chân không kéo dài hoặc không đạt mức chân không như trước. Các mối hàn cũ là một trong những vị trí cần kiểm tra, đặc biệt tại góc buồng và các cổng xuyên thành chamber.
Tuy nhiên, áp suất xấu đi chưa đủ để kết luận mối hàn bị rò. Gioăng cửa, mặt bích, van, feedthrough, đường nước làm mát và khí thoát ra từ lớp phủ bám trong buồng cũng có thể gây biểu hiện tương tự. Cần đo kiểm để xác định đúng nguyên nhân trước khi sửa chữa.
Vì sao mối hàn có thể mất độ kín?
Mỏi nhiệt do vận hành lặp lại. Trong mỗi chu trình phủ và làm nguội, các vùng của buồng giãn nở và co lại không đồng đều. Ứng suất có thể tập trung ở chân mối hàn, góc kết cấu và vị trí nối giữa cổng thiết bị với thành buồng. Theo thời gian, một vết nứt nhỏ tại những vùng này có thể phát triển thành đường rò xuyên thành buồng.
Khuyết tật tồn tại trong mối hàn cũ. Rỗ khí, thiếu ngấu hoặc vết nứt rất nhỏ có thể là điểm khởi đầu của hư hỏng. Mối hàn từng đạt độ kín khi máy mới không có nghĩa là sẽ duy trì độ kín vô thời hạn dưới tác động của chu kỳ nhiệt và tải cơ học. Việc có khuyết tật tại một mối hàn cụ thể phải được xác nhận bằng kiểm tra thực tế.
Tải từ đường ống và cụm thiết bị. Trọng lượng đường ống chân không, van, nguồn ion hoặc lực phát sinh khi tháo lắp bảo dưỡng có thể truyền đến các cổng hàn trên chamber. Đường ống lắp lệch hoặc thiếu giá đỡ làm tăng ứng suất tại vùng này.
Ảnh hưởng của nước làm mát và ăn mòn cục bộ. Nước rò hoặc đọng lâu ngày ở khe và mặt sau mối hàn có thể gây hư hỏng tùy theo vật liệu và điều kiện vận hành. Nếu nước xâm nhập trực tiếp vào chamber, tải hơi nước tăng cũng khiến thời gian hút chân không kéo dài. Trường hợp này cần kiểm tra riêng độ kín của đường nước.
Phân biệt rò thực với thoát khí
Rò thực là đường thông từ bên ngoài hoặc từ một hệ thống phụ vào thể tích chân không. Thoát khí là khí và hơi nước giải phóng từ bề mặt, lớp phủ bám hoặc chi tiết bên trong buồng. Rò ảo xảy ra khi khí bị giữ trong lỗ ren kín, khe khuất hoặc một thể tích bị bẫy rồi thoát ra chậm.
Các hiện tượng này đều có thể làm áp suất tăng sau khi cô lập chamber. Vì vậy, không nên chỉ dựa vào áp suất cuối để kết luận. Cần xem đường cong áp suất theo thời gian và kết hợp dò rò bằng helium để định vị nguồn rò.
Trình tự kiểm tra đề xuất
1. Ghi nhận tình trạng vận hành: áp suất cuối, thời gian pump-down, mức tăng áp suất khi cô lập chamber, trạng thái nước làm mát và điều kiện buồng nguội hoặc sau khi chạy nóng.
2. Kiểm tra ngoại quan: các mối hàn, góc buồng, cổng xuyên thành, gioăng, mặt bích, feedthrough và đường nước. Đánh dấu vị trí từng sửa hàn, có dấu hiệu ăn mòn hoặc chịu lực từ đường ống.
3. Dò helium theo từng vùng nhỏ: xác định tín hiệu nền và thời gian đáp ứng của máy dò. Cấp helium lần lượt tại từng vị trí, chờ tín hiệu trở về nền trước khi chuyển sang vị trí tiếp theo để tránh nhầm lẫn do helium lan rộng.
4. Xác nhận chính xác nguồn rò: so sánh tín hiệu tại mối hàn với gioăng, mặt bích hoặc phụ kiện nằm sát đó. Với mối hàn dài, có thể bao helium từng đoạn để khoanh vùng.
5. Lập báo cáo : ghi ảnh vị trí, áp suất buồng, tín hiệu nền, tín hiệu cực đại theo đơn vị mbar·L/s và điều kiện thử. Tiêu chí chấp nhận cần đối chiếu với tài liệu của đúng model máy và yêu cầu quá trình phủ.
Xử lý sau khi xác nhận mối hàn rò
Trước khi sửa hàn, cần xác định phạm vi vết nứt, vật liệu và chiều dày thành buồng, kết cấu phía sau, cũng như các đường nước và linh kiện gần vùng sửa. Khu vực hàn phải được làm sạch lớp phủ bám và tạp chất bằng phương pháp phù hợp với buồng chân không. Quá trình sửa cần kiểm soát biến dạng và ảnh hưởng nhiệt đến các bộ phận lân cận.
Sau sửa chữa, phải dò rò helium lại tại vùng hàn và các vị trí xung quanh, sau đó chạy thử để đánh giá thời gian pump-down và áp suất nền. Việc áp suất cải thiện sau sửa không thay thế cho phép kiểm tra độ kín.
Kết luận
Sau nhiều năm hoạt động, mỏi nhiệt, tải cơ học, khuyết tật hàn cũ và ảnh hưởng của nước làm mát đều có thể góp phần làm chamber mất độ kín. Với máy phủ giải pháp hiệu quả là kiểm tra có hệ thống, phân biệt rò thực với thoát khí, định vị chính xác bằng helium và nghiệm thu lại sau sửa chữa.
HVP Vacuum Solutions – ATL cung cấp dịch vụ kiểm tra độ kín buồng chân không, dò rò helium và tư vấn phương án sửa chữa theo hiện trạng thiết bị.
Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ :
Hotline : 0915 933 355
Email : info@apsuatchankhong.com
Hình ảnh quá trình sửa chữa .
Tin tức liên quan
Mỡ chân không Edwards và các loại mỡ chuyên dụng cho hệ thống chân không
Mỡ chân không Edwards và các loại mỡ chuyên dụng cho hệ thống chân không Trong hệ thống chân không, mỡ bôi trơn không chỉ có nhiệm vụ giảm ma sát. Tùy vị trí sử dụng, mỡ còn phải đảm bảo độ kín, áp suất hơi thấp, hạn chế phát khí, chống kẹt ren, chịu nhiệt hoặc kháng hóa chất. Sử dụng sai loại mỡ có thể gây ra nhiều vấn đề như: - Tăng thời gian hút chân không. - Không đạt được áp suất cuối yêu cầu. - Làm bẩn buồng chân không và sản phẩm. - Gây nhiễm silicone trong quá trình PVD, coating hoặc phân tích. - Làm O-ring trương nở, chai cứng hoặc mất tính đàn hồi. - Tăng ma sát, gây kẹt van và các cơ cấu chuyển động. - Phản ứng nguy hiểm trong môi trường oxy hoặc hóa chất mạnh. Danh mục mỡ chân không do Edwards cung cấp gồm nhiều nhóm sản phẩm như Apiezon, Fomblin, Krytox, PFPE, silicone và mỡ chân không đa dụng. Mỗi loại được thiết kế cho một phạm vi áp suất, nhiệt độ và điều kiện công nghệ khác nhau. 1. Mỡ chân không Apiezon Apiezon là dòng mỡ gốc hydrocarbon chuyên dùng trong các hệ thống chân không khoa học và công nghiệp. Phần lớn sản phẩm Apiezon không chứa silicone, giúp hạn chế hiện tượng mỡ lan khỏi vị trí bôi và giảm nguy cơ nhiễm bẩn bề mặt. Đây là ưu điểm quan trọng đối với: Hệ thống PVD và coating. Kính hiển vi điện tử. Thiết bị phân tích khối phổ. Thiết bị quang học. Phòng thí nghiệm chân không. Hệ thống yêu cầu độ sạch bề mặt cao. Apiezon M Grease Apiezon M là mỡ chân không đa dụng, thích hợp cho các ứng dụng chân không cao ở nhiệt độ môi trường, thông thường khoảng 10–30°C. Đặc điểm nổi bật: Không chứa silicone và halogen. Áp suất hơi khoảng 1,7 \times 10^E-9 Torr tại 20°C. Khả năng bôi trơn và làm kín tốt. Hạn chế hiện tượng mỡ lan trên bề mặt. Có khả năng hấp phụ một phần tạp chất hydrocarbon. Dễ làm sạch bằng dung môi hydrocarbon phù hợp. Ứng dụng tiêu biểu: Bôi trơn và hỗ trợ làm kín O-ring. Van chân không, khớp nối và các chi tiết chuyển động chậm. Bảo dưỡng thiết bị chân không. Thiết bị phân tích, quang phổ và coating. Các hệ thống làm việc ở nhiệt độ phòng. Apiezon M không phải lựa chọn tối ưu cho vị trí thường xuyên chịu nhiệt độ cao. Apiezon L Grease Apiezon L là mỡ áp suất hơi rất thấp, phù hợp với hệ thống chân không cao và siêu cao ở nhiệt độ môi trường. Đặc điểm nổi bật: Áp suất hơi khoảng 7 \times 10^E-11Torr tại 20°C. Không chứa silicone và halogen. Khả năng phát khí thấp. Chống hiện tượng “creep” hoặc lan mỡ. Có khả năng chịu bức xạ. Phù hợp với các hệ thống nhạy cảm với nhiễm bẩn. Ứng dụng: Hệ thống chân không cao và siêu cao. Kính hiển vi điện tử. Thiết bị phân tích bề mặt. Khối phổ và quang phổ. Buồng PVD, bay hơi kim loại và coating. Thiết bị nghiên cứu khoa học. Cần lưu ý rằng chân không siêu cao sử dụng gioăng kim loại CF thường không bôi mỡ trực tiếp lên bề mặt làm kín. Apiezon L chỉ nên sử dụng tại đúng vị trí được nhà sản xuất thiết bị cho phép. Apiezon N Grease Apiezon N có độ đặc và tính đàn hồi cao hơn, giúp tạo lớp đệm cho các mối nối thủy tinh hoặc bộ phận chịu rung động. Ứng dụng phù hợp: Thiết bị chân không nhiệt độ thấp. Hệ thống cryogenic. Mối nối thủy tinh với thủy tinh. Van thủy tinh, khóa burette và thiết bị phòng thí nghiệm. Vị trí cần giảm rung và hạn chế nứt vỡ. Ở nhiệt độ siêu thấp, sản phẩm chủ yếu hỗ trợ làm kín và tạo đệm; không nên mặc nhiên coi đây là mỡ bôi trơn cho mọi cơ cấu chuyển động cryogenic. Apiezon T Grease Apiezon T được phát triển cho phạm vi nhiệt độ trung bình, với khoảng làm việc tham khảo từ 10 đến 120°C và độ đặc tối ưu ở khoảng 25–50°C. Sản phẩm thích hợp cho: Thiết bị chân không có gia nhiệt vừa phải. Van và khớp nối gần vùng nhiệt. Hệ thống thí nghiệm có chu kỳ thay đổi nhiệt độ. Các vị trí mà Apiezon M hoặc L trở nên quá mềm do nhiệt. Apiezon H Grease Apiezon H là mỡ chân không chịu nhiệt cao. Phạm vi làm việc điển hình có thể từ khoảng −10 đến 240°C, tùy điều kiện thực tế và yêu cầu của thiết bị. Đặc điểm: Không nóng chảy theo cách thông thường. Áp suất hơi thấp. Không chứa silicone. Có độ bám tốt trên bề mặt. Phù hợp với các ứng dụng chân không có nhiệt độ cao. Ứng dụng: Lò chân không. Thiết bị sấy chân không. Van và cơ cấu truyền động gần buồng gia nhiệt. Hệ thống coating có chu kỳ gia nhiệt. Thiết bị nghiên cứu nhiệt độ...
08/08/2026
Hiệu quả của bộ tách nước đối với bơm chân không vòng dầu.
Hiệu quả của bộ tách nước đối với bơm chân không vòng dầu. Trong bơm chân không vòng dầu, dầu không chỉ có nhiệm vụ bôi trơn. Đây còn là môi chất làm kín khe hở, hỗ trợ làm mát, cuốn theo tạp chất và góp phần quyết định áp suất cuối cùng của bơm. Vì vậy, chất lượng dầu ảnh hưởng trực tiếp đến khả năng tạo chân không, độ ổn định vận hành và tuổi thọ của thiết bị. Đối với các quy trình có nhiều hơi nước, dầu bơm rất dễ bị nhiễm ẩm, nhũ hóa và suy giảm tính năng. Bộ tách dầu–nước được thiết kế để xử lý vấn đề này bằng cách tuần hoàn, tách nước và lọc tạp chất khỏi dầu trong quá trình vận hành. 1. Vì sao nước gây hại cho bơm chân không vòng dầu? Khi bơm hút khí có chứa hơi nước, hơi nước đi vào buồng bơm cùng dòng khí. Nếu áp suất riêng phần của hơi nước vượt quá áp suất hơi bão hòa tại nhiệt độ bên trong bơm, hơi nước sẽ ngưng tụ thành nước và hòa trộn với dầu. Hiện tượng này thường gặp trong các ứng dụng: - Sấy chân không và cô đặc - Đông khô thực phẩm - Hút chân không bao bì - Khử khí dầu máy biến áp; - Sấy gỗ, dược phẩm và hóa chất - Hệ thống coating, mạ chân không có chi tiết còn ẩm - Hút không khí nóng ẩm từ buồng sản xuất - Quy trình vệ sinh hoặc rửa thiết bị trước khi hút chân không. - Hút chân không trong quá trình sản xuất kim hoàn. Dầu nhiễm nước thường chuyển sang màu trắng đục hoặc màu sữa. Khi đó, bơm có thể xuất hiện các vấn đề sau: Khả năng làm kín suy giảm Màng dầu có nhiệm vụ làm kín khe hở giữa rotor, cánh gạt và stator. Khi dầu bị pha loãng hoặc nhũ hóa, đặc tính độ nhớt và khả năng tạo màng dầu thay đổi. Rò rỉ nội bộ tăng lên, khiến bơm khó đạt áp suất chân không tốt nhất. Thời gian hút chân không kéo dài Khi dầu chứa nước, lượng hơi nước liên tục thoát ra khỏi dầu dưới áp suất thấp và trở thành tải khí ngược đối với bơm. Vì vậy, dù hệ thống không có rò rỉ lớn, áp suất vẫn có thể giảm rất chậm hoặc dừng tại một mức cao hơn bình thường. Ăn mòn các bộ phận bên trong Nước kết hợp với chất bẩn hoặc khí công nghệ có thể tạo ra môi trường ăn mòn. Các chi tiết dễ bị ảnh hưởng gồm: - Cánh gạt, rotor và cylinder, lò xo, van xả và van chống hút ngược, vòng bi và các chi tiết thép, bề mặt làm kín và đường dầu. Dầu nhanh xuống cấp Nước thúc đẩy quá trình oxy hóa và phá vỡ một số phụ gia trong dầu. Dầu có thể tăng độ axit, tạo cặn, thay đổi độ nhớt và mất khả năng bôi trơn. Nếu tiếp tục vận hành, chi phí sửa chữa thường lớn hơn nhiều so với chi phí thay dầu. 2. Nguyên lý làm việc của thiết bị tách nước-dầu Thiết bị tách nước-dầu là thiết bị xử lý dầu được lắp bên ngoài bơm chân không. Dầu được đưa ra khỏi bơm, đi qua cụm tách nước và lọc, sau đó dầu sạch được bơm trở lại buồng bơm chân không. Quá trình làm việc cơ bản gồm: 1. Dầu nhiễm nước được lấy từ bình dầu hoặc đường tuần hoàn của bơm. 2. Dầu đi qua bộ phận xử lý để nước được tập trung và tách khỏi dầu. 3. Cặn rắn và một phần chất bẩn được giữ lại tại phần tử lọc. 4. Dầu sau xử lý được đưa trở lại bơm. 5. Chu trình được lặp lại liên tục trong quá trình vận hành. Khác với việc chỉ xả phần nước lắng dưới đáy bình dầu, thiết bị tách nước-dầu xử lý dầu theo chu trình tuần hoàn. Điều này đặc biệt có ý nghĩa khi nước đã phân tán hoặc hình thành nhũ tương trong dầu. 3. Hiệu quả kỹ thuật khi sử dụng ‘’thiết bị tách nước-dầu’’ Duy trì áp suất chân không ổn định Khi hàm lượng nước trong dầu được kiểm soát, áp suất hơi phát sinh từ dầu giảm xuống. Bơm có điều kiện duy trì áp suất cuối cùng ổn định hơn, đặc biệt sau nhiều chu kỳ hút sản phẩm có độ ẩm cao. Hiệu quả này thể hiện qua: - Áp suất nền thấp hơn; - Ít dao động áp suất giữa các mẻ; - Thời gian hút ổn định hơn; - Giảm hiện tượng bơm đạt chân không tốt khi mới thay dầu nhưng suy giảm nhanh sau vài ngày. Lưu ý : Bộ tách nước không thể khắc phục áp suất kém do rò...
08/08/2026
Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD.
Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD. Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD – Giải pháp khôi phục hiệu suất, nâng cao chất lượng lớp phủ Trong ngành gia công khuôn mẫu, dao cắt, dụng cụ chính xác, linh kiện ô tô, điện tử và y tế, máy phủ PVD (Physical Vapor Deposition) đóng vai trò quyết định đến chất lượng sản phẩm. Tuy nhiên, sau nhiều năm vận hành, hệ thống PVD thường gặp các sự cố như không đạt chân không, thời gian hút kéo dài, lớp phủ không đồng đều, hồ quang không ổn định hoặc năng suất suy giảm. Những sự cố này nếu không được xử lý đúng kỹ thuật sẽ làm tăng tỷ lệ hàng lỗi, tiêu hao vật tư, giảm tuổi thọ thiết bị và gây thiệt hại lớn về chi phí sản xuất. Với nhiều năm kinh nghiệm trong lĩnh vực hệ thống chân không công nghiệp, ATL – An Tài Lộc cung cấp dịch vụ sửa chữa, bảo dưỡng và tối ưu hóa máy phủ PVD cùng toàn bộ hệ thống chân không, giúp khách hàng nhanh chóng khôi phục hiệu suất thiết bị và kéo dài tuổi thọ máy. Máy phủ PVD gồm những hệ thống nào? Một hệ thống phủ PVD hiện đại không chỉ bao gồm buồng phủ mà còn là sự kết hợp của nhiều hệ thống phức tạp. Thông thường gồm: 1 Buồng chân không (Vacuum Chamber) 2 Bơm chân không sơ cấp 3 Booster Pump 4 Bơm Turbo phân tử 5 Cryogenic Pump hoặc Polycold 6 Bơm khuếch tán (đối với một số dòng máy) 7 Hệ thống cấp khí Ar, N₂, O₂… 8 Nguồn DC / Pulsed DC / MF / RF 9 Cathode hoặc Magnetron 10 Hệ thống Bias 11 Bộ điều khiển PLC 12 Cảm biến áp suất chân không 13 Van chân không 14 Hệ thống làm mát nước 15 Hệ thống quay sản phẩm 16 Jig gá sản phẩm… Chỉ cần một trong các hệ thống trên hoạt động không ổn định sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến toàn bộ quá trình phủ. Những sự cố thường gặp trên máy phủ PVD 1. Máy không đạt áp suất chân không yêu cầu Đây là lỗi phổ biến nhất. Ví dụ: Yêu cầu áp chân không: 2×10⁻⁵ mbar Thực tế : chỉ đạt 3×10⁻³ mbar Nguyên nhân có thể là: 1 Rò rỉ chân không 2 O-ring lão hóa 3 Van Vacuum rò rỉ 4 Bơm chân không chính kém 5 Bơm tăng áp hỏng 6 Bơm Turbo phân tử không đạt tốc độ 7 Bơm khuếch tán nhiễm bẩn 8 Polycold mất khả năng bẫy hơi nước 9 Buồng chân không nhiễm bẩn .. ATL sử dụng: 1 Máy đo rò rỉ ELD 500 của Edwards 2 Các đồng hồ cảm biến chân không của Edwards có độ chính xác cao Mục đích để xác định chính xác nguyên nhân thay vì thay thế linh kiện theo kinh nghiệm. 2. Thời gian Pump Down kéo dài. Ví dụ: Thông số thiết kế: 20 phút Thực tế: 60 phút Nguyên nhân thường gặp: 1 Bơm tăng áp không hoạt động 2 Bơm khuếch tán chưa đủ nhiệt 3 Cooling Water không đúng lưu lượng 4 Valve timing sai 5 Chamber bám dầu 6 Leak nhỏ 7 Gas ballast mở 8 Hơi nước tích tụ ATL sẽ phân tích: Pump Down Curve để xác định từng giai đoạn: - Bơm chân không sơ cấp - Bơm chân không thứ cấp - Bơm chân không cao , khuếch tán or Turbo Từ đó xác định lỗi chính xác. 3. Lớp phủ không đồng đều Biểu hiện: 1 Màu không đều 2 Độ dày lệch 3 Một bên sáng 4 Một bên tối 5 Sản phẩm bị vàng 6 Sản phẩm bị chấm đen Nguyên nhân: 1 Jig quay không đều 2 Cathode lệch 3 Magnet yếu 4 Plasma phân bố không đồng đều 5 Áp suất quá cao 6 Target mòn lệch 7 Bias Voltage sai 8 Buồng chân không có hơi dầu ATL sẽ: 1 Kiểm tra plasma 2 Kiểm tra tốc độ quay 3 Kiểm tra Target erosion 4 Kiểm tra Magnetic Field Để tối ưu chất lượng coating. 4. Hồ quang (Arc) xuất hiện liên tục Arc liên tục gây: 1 Rỗ bề mặt 2 Bắn kim loại 3 Bong lớp phủ 4 Giảm tuổi thọ Target Nguyên nhân: 1 Target bẩn 2 Cooling kém 3 Nguồn điện lỗi 4 Plasma không ổn định 5 Vacuum không đạt ATL sẽ kiểm tra toàn bộ: - Arc Source - Cathode - Cooling - Water Flow - Target - Vacuum Stability 5. Lớp phủ bong tróc Đây là lỗi làm khách hàng mất nhiều chi phí nhất. Nguyên nhân có thể gồm: - Làm sạch chưa đạt - Áp suất nền cao - Outgassing - Bias sai - Ion Etching chưa đủ - Nhiễm dầu chân không - Chamber bẩn ATL sẽ đánh giá toàn bộ quy trình phủ thay vì chỉ sửa máy. 6. Máy phủ tiêu hao Target bất thường Nếu Target mòn nhanh bất thường có thể do: - Magnet lệch - Cooling không đủ - Arc quá nhiều - Current quá cao - Plasma mất cân bằng Việc kiểm tra sẽ giúp giảm đáng kể chi phí vật tư. 7. Hệ thống Polycold hoạt động không hiệu quả Polycold có nhiệm vụ: - Bẫy hơi nước -...
14/07/2026
DỊCH VỤ SỬA CHỮA BƠM CHÂN KHÔNG LEYBOLD CHUYÊN NGHIỆP – GIẢI PHÁP TOÀN DIỆN TỪ ATL
DỊCH VỤ SỬA CHỮA BƠM CHÂN KHÔNG LEYBOLD CHUYÊN NGHIỆP – GIẢI PHÁP TOÀN DIỆN TỪ ATL Giới thiệu về bơm chân không Leybold Leybold là thương hiệu công nghệ chân không hàng đầu thế giới có nguồn gốc từ Đức với lịch sử phát triển hơn 170 năm. Các sản phẩm của Leybold được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành công nghiệp yêu cầu độ chân không cao và độ tin cậy tuyệt đối như: * Công nghiệp bán dẫn (Semiconductor) * Điện tử và SMT * Màn hình LCD/OLED * PVD, CVD, Coating * Sản xuất pin Lithium * Y tế và dược phẩm * Sấy thăng hoa thực phẩm và vaccine * Công nghệ phân tích và nghiên cứu khoa học * Công nghiệp năng lượng Các dòng bơm Leybold nổi tiếng như TRIVAC, SCREWLINE, VARODRY, RUVAC, DRYVAC được đánh giá cao về hiệu suất, độ bền và khả năng vận hành liên tục trong môi trường công nghiệp khắc nghiệt. Tuy nhiên, giống như mọi thiết bị cơ khí khác, sau thời gian dài hoạt động, bơm chân không Leybold cần được kiểm tra, bảo dưỡng và sửa chữa để duy trì hiệu suất vận hành tối ưu. Khi nào cần sửa chữa bơm chân không Leybold? Nhiều doanh nghiệp chỉ tiến hành sửa chữa khi bơm đã hư hỏng nghiêm trọng hoặc dừng hoạt động hoàn toàn. Đây là nguyên nhân dẫn đến chi phí sửa chữa cao, thời gian dừng máy kéo dài và ảnh hưởng trực tiếp đến sản xuất. Doanh nghiệp nên tiến hành kiểm tra ngay khi xuất hiện các dấu hiệu sau: Áp suất chân không không đạt yêu cầu * Thời gian hút chân không lâu hơn bình thường * Không đạt được áp suất thiết kế * Chân không dao động bất thường Bơm vận hành phát ra tiếng ồn lớn * Tiếng va đập cơ khí * Tiếng rít bất thường * Độ rung tăng cao Nhiệt độ bơm tăng bất thường * Nhiệt độ thân bơm vượt giới hạn cho phép * Quạt làm mát hoạt động liên tục * Hệ thống bảo vệ quá nhiệt thường xuyên tác động Rò rỉ dầu hoặc khí * Dầu xuất hiện tại vị trí phớt trục * Rò rỉ tại mặt bích hoặc gioăng kín * Xuất hiện khói dầu bất thường tại cửa xả Tiêu thụ điện năng tăng cao * Dòng điện vận hành vượt mức bình thường * Hiệu suất hút giảm nhưng công suất tiêu thụ tăng Nếu các hiện tượng trên không được xử lý kịp thời, bơm có thể gặp hư hỏng nghiêm trọng như gãy trục, bó bi, cháy động cơ hoặc hư hỏng cụm rotor. Các lỗi thường gặp trên bơm Leybold Hỏng vòng bi (Bearing Failure) Đây là một trong những nguyên nhân phổ biến nhất gây hư hỏng bơm chân không. Nguyên nhân: * Dầu bôi trơn bị nhiễm bẩn * Làm việc quá tải * Căn chỉnh sai lệch * Tuổi thọ vòng bi hết hạn Triệu chứng: * Tiếng ồn lớn * Rung động tăng cao * Nhiệt độ ổ trục tăng bất thường Hư hỏng phớt trục (Shaft Seal) Phớt trục là bộ phận quan trọng giúp ngăn ngừa rò rỉ dầu và không khí. Khi phớt bị mòn: * Bơm không đạt chân không * Rò rỉ dầu * Tăng tiêu hao dầu chân không Mài mòn cánh gạt Đối với dòng bơm cánh gạt dầu TRIVAC: * Cánh gạt bị mòn * Lò xo cánh gạt suy yếu * Mặt trong stator bị xước Hậu quả: * Lưu lượng giảm * Áp suất cuối tăng * Hiệu suất suy giảm Nhiễm bẩn buồng bơm Thường gặp trong các ứng dụng: * Hơi nước * Hóa chất * Dung môi * Keo và nhựa * Dầu công nghệ Cặn bẩn tích tụ lâu ngày sẽ làm: * Kẹt rotor * Ăn mòn bề mặt * Giảm hiệu suất chân không Hỏng động cơ điện Các nguyên nhân phổ biến: * Quá dòng * Quá tải * Chập cuộn dây * Mất pha nguồn điện Dịch vụ sửa chữa bơm Leybold tại ATL ATL cung cấp giải pháp sửa chữa toàn diện cho các dòng bơm Leybold tại Việt Nam. Khảo sát và đánh giá hiện trạng Kỹ sư ATL thực hiện: * Đo áp suất chân không thực tế * Kiểm tra độ rung * Kiểm tra nhiệt độ vận hành * Đánh giá tình trạng dầu * Đánh giá mức độ hao mòn cơ khí Sau khảo sát, khách hàng sẽ nhận được báo cáo kỹ thuật chi tiết và phương án sửa chữa tối ưu. Đại tu toàn bộ bơm (Overhaul) Quy trình đại tu tiêu chuẩn bao gồm: Tháo rã hoàn toàn * Thân bơm * Rotor * Trục * Vòng bi * Phớt * Van hút * Van xả Làm sạch chuyên sâu Sử dụng: * Dung môi chuyên dụng * Thiết bị vệ sinh công nghiệp * Công nghệ làm sạch cơ khí Kiểm tra kích thước * Độ đảo trục * Khe hở rotor * Độ mòn ổ trục * Tình trạng bề mặt làm kín Thay thế phụ tùng * Bearing * Shaft Seal * O-ring * Gasket * Van * Cánh gạt * Dầu chân không Lắp ráp và căn chỉnh * Cân chỉnh đồng tâm * Siết lực theo tiêu chuẩn * Kiểm tra khe hở vận hành Chạy thử nghiệm thu Sau sửa chữa, ATL tiến hành: *...
22/06/2026
Dịch vụ kiểm tra rò rỉ & xử lý rò rỉ cho máy phủ quang học OPTORUN, SHINCRON,HANIL
Dịch vụ kiểm tra rò rỉ & xử lý rò rỉ cho máy phủ quang học OPTORUN, SHINCRON,HANIL Giải pháp phục hồi buồng chân không cho thiết bị đã vận hành trên 10 năm Sau hơn 10 năm vận hành liên tục, các hệ thống chân không công nghiệp và thiết bị phủ màng mỏng quang học thường bắt đầu xuất hiện các vấn đề rò rỉ tiềm ẩn mà mắt thường không thể phát hiện. Nguyên nhân phổ biến nhất là nứt vi mô tại các mối hàn cũ của buồng chân không (chamber). Những vết nứt này tuy rất nhỏ nhưng có thể gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến: • Khả năng đạt và duy trì độ chân không • Độ ổn định của quá trình công nghệ • Chất lượng sản phẩm và tuổi thọ thiết bị ⚠️ DẤU HIỆU NHẬN BIẾT CHAMBER BỊ RÒ RỈ DO MỐI HÀN CŨ • Áp suất nền không đạt hoặc dao động bất thường • Thời gian hút chân không kéo dài hơn so với trước đây • Hệ thống không đạt tiêu chuẩn vận hành dù đã thay O-ring, gioăng, bảo dưỡng bơm chân không • Lỗi lặp lại trong quá trình coating / xử lý vật liệu • Nghi ngờ rò rỉ nhưng không xác định được vị trí 🔎 NGUYÊN NHÂN GÂY NỨT MỐI HÀN SAU THỜI GIAN DÀI • Mỏi nhiệt (thermal fatigue) do chu kỳ gia nhiệt – làm lạnh lặp lại nhiều năm • Ứng suất dư tại mối hàn cũ chưa được xử lý triệt để • Rung động cơ học kéo dài từ bơm chân không, hệ lạnh, van đóng/mở • Lão hóa vật liệu trong môi trường chân không và nhiệt độ thay đổi liên tục 🧪 DỊCH VỤ LEAK TEST CHUYÊN SÂU Chúng tôi sử dụng thiết bị dò rò rỉ Helium ELD 500 của Edwards độ nhạy cao để: • Phát hiện rò rỉ vi mô tại: • Mối hàn chamber • Góc đáy buồng, vùng chịu ứng suất, vị trí cánh cửa phần ra nhiệt. • Khu vực lắp cold trap / coil lạnh • Các vị trí hàn lâu năm, khó tiếp cận • Đánh giá chính xác leak rate (mbar·L/s) so với yêu cầu kỹ thuật • Khoanh vùng chính xác điểm rò trước khi xử lý hàn 🔧 DỊCH VỤ HÀN XỬ LÝ VẾT NỨT MỐI HÀN CŨ Sau khi xác định chính xác vị trí rò rỉ, chúng tôi thực hiện: • Hàn TIG tinh xảo / kỹ sư được cấp chứng chỉ bởi Oerlikon balzers cộng hòa liên bang Đức • Hàn tập trung đúng điểm nứt, hạn chế lan nhiệt • Không làm biến dạng hình học buồng chân không • Không ảnh hưởng đến độ phẳng mặt bích và các bề mặt lắp ghép • Xử lý triệt để các dạng: • Nứt chân mối hàn • Rỗ khí, lão hóa mối hàn cũ • Rò vi mô do mỏi nhiệt 👉 Sau hàn, leak test lại toàn bộ khu vực để đảm bảo độ kín tuyệt đối. ✅ HIỆU QUẢ SAU KHI XỬ LÝ • Buồng chân không đạt độ kín như ban đầu • Áp suất nền ổn định, thời gian pump-down được cải thiện rõ rệt • Giảm lỗi công nghệ, nâng cao chất lượng sản phẩm • Kéo dài tuổi thọ thiết bị thêm nhiều năm • Tiết kiệm chi phí rất nhiều cho nhà máy. ⭐ GIẢI PHÁP PHỤC HỒI – KHÔNG CHỈ SỬA CHỮA Dịch vụ Leak Test & hàn xử lý mối hàn cũ không chỉ giúp khắc phục sự cố hiện tại, mà còn đóng vai trò quan trọng trong bảo trì dự phòng cho các hệ thống đã vận hành lâu năm. 📞 Liên hệ với chúng tôi để khảo sát & đánh giá tình trạng rò rỉ Chúng tôi sẵn sàng hỗ trợ trực tiếp tại nhà máy với giải pháp kỹ thuật phù hợp nhất cho từng hệ thống. Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ : Hotline 0915 933 355
21/01/2026
