Dịch vụ kiểm tra rò rỉ & xử lý rò rỉ cho máy phủ quang học OPTORUN, SHINCRON,HANIL

Dịch vụ kiểm tra rò rỉ & xử lý rò rỉ cho máy phủ quang học OPTORUN, SHINCRON,HANIL

Giải pháp phục hồi buồng chân không cho thiết bị đã vận hành trên 10 năm

Sau hơn 10 năm vận hành liên tục, các hệ thống chân không công nghiệp và thiết bị phủ màng mỏng quang học thường bắt đầu xuất hiện các vấn đề rò rỉ tiềm ẩn mà mắt thường không thể phát hiện. Nguyên nhân phổ biến nhất là nứt vi mô tại các mối hàn cũ của buồng chân không (chamber).

Những vết nứt này tuy rất nhỏ nhưng có thể gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến:

 • Khả năng đạt và duy trì độ chân không

 • Độ ổn định của quá trình công nghệ

 • Chất lượng sản phẩm và tuổi thọ thiết bị

⚠️ DẤU HIỆU NHẬN BIẾT CHAMBER BỊ RÒ RỈ DO MỐI HÀN CŨ

 • Áp suất nền không đạt hoặc dao động bất thường

 • Thời gian hút chân không kéo dài hơn so với trước đây

 • Hệ thống không đạt tiêu chuẩn vận hành dù đã thay O-ring, gioăng, bảo dưỡng bơm chân không

 • Lỗi lặp lại trong quá trình coating / xử lý vật liệu

 • Nghi ngờ rò rỉ nhưng không xác định được vị trí

🔎 NGUYÊN NHÂN GÂY NỨT MỐI HÀN SAU THỜI GIAN DÀI

 • Mỏi nhiệt (thermal fatigue) do chu kỳ gia nhiệt – làm lạnh lặp lại nhiều năm

 • Ứng suất dư tại mối hàn cũ chưa được xử lý triệt để

 • Rung động cơ học kéo dài từ bơm chân không, hệ lạnh, van đóng/mở

 • Lão hóa vật liệu trong môi trường chân không và nhiệt độ thay đổi liên tục

🧪 DỊCH VỤ LEAK TEST CHUYÊN SÂU

Chúng tôi sử dụng thiết bị dò rò rỉ Helium ELD 500 của Edwards độ nhạy cao để:

 • Phát hiện rò rỉ vi mô tại:

 • Mối hàn chamber

 • Góc đáy buồng, vùng chịu ứng suất, vị trí cánh cửa phần ra nhiệt.

 • Khu vực lắp cold trap / coil lạnh

 • Các vị trí hàn lâu năm, khó tiếp cận

 • Đánh giá chính xác leak rate (mbar·L/s) so với yêu cầu kỹ thuật

 • Khoanh vùng chính xác điểm rò trước khi xử lý hàn

🔧 DỊCH VỤ HÀN XỬ LÝ VẾT NỨT MỐI HÀN CŨ

Sau khi xác định chính xác vị trí rò rỉ, chúng tôi thực hiện:

 • Hàn TIG tinh xảo /  kỹ sư được cấp chứng chỉ bởi Oerlikon balzers cộng hòa liên bang Đức

 • Hàn tập trung đúng điểm nứt, hạn chế lan nhiệt

 • Không làm biến dạng hình học buồng chân không

 • Không ảnh hưởng đến độ phẳng mặt bích và các bề mặt lắp ghép

 • Xử lý triệt để các dạng:

 • Nứt chân mối hàn

 • Rỗ khí, lão hóa mối hàn cũ

 • Rò vi mô do mỏi nhiệt

👉 Sau hàn, leak test lại toàn bộ khu vực để đảm bảo độ kín tuyệt đối.

✅ HIỆU QUẢ SAU KHI XỬ LÝ

 • Buồng chân không đạt độ kín như ban đầu

• Áp suất nền ổn định, thời gian pump-down được cải thiện rõ rệt

 • Giảm lỗi công nghệ, nâng cao chất lượng sản phẩm

 • Kéo dài tuổi thọ thiết bị thêm nhiều năm

 • Tiết kiệm chi phí rất nhiều cho nhà máy.

⭐ GIẢI PHÁP PHỤC HỒI – KHÔNG CHỈ SỬA CHỮA

Dịch vụ Leak Test & hàn xử lý mối hàn cũ không chỉ giúp khắc phục sự cố hiện tại, mà còn đóng vai trò quan trọng trong bảo trì dự phòng cho các hệ thống đã vận hành lâu năm.

📞 Liên hệ với chúng tôi để khảo sát & đánh giá tình trạng rò rỉ

Chúng tôi sẵn sàng hỗ trợ trực tiếp tại nhà máy với giải pháp kỹ thuật phù hợp nhất cho từng hệ thống.

Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ : Hotline 0915 933 355