Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD.

Thứ Ba, 14/07/2026
Nguyễn Văn Huấn
Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD.

Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD.

Dịch vụ sửa chữa máy phủ PVD và hệ thống chân không PVD – Giải pháp khôi phục hiệu suất, nâng cao chất lượng lớp phủ

Trong ngành gia công khuôn mẫu, dao cắt, dụng cụ chính xác, linh kiện ô tô, điện tử và y tế, máy phủ PVD (Physical Vapor Deposition) đóng vai trò quyết định đến chất lượng sản phẩm. Tuy nhiên, sau nhiều năm vận hành, hệ thống PVD thường gặp các sự cố như không đạt chân không, thời gian hút kéo dài, lớp phủ không đồng đều, hồ quang không ổn định hoặc năng suất suy giảm.

Những sự cố này nếu không được xử lý đúng kỹ thuật sẽ làm tăng tỷ lệ hàng lỗi, tiêu hao vật tư, giảm tuổi thọ thiết bị và gây thiệt hại lớn về chi phí sản xuất.

Với nhiều năm kinh nghiệm trong lĩnh vực hệ thống chân không công nghiệp, ATL – An Tài Lộc cung cấp dịch vụ sửa chữa, bảo dưỡng và tối ưu hóa máy phủ PVD cùng toàn bộ hệ thống chân không, giúp khách hàng nhanh chóng khôi phục hiệu suất thiết bị và kéo dài tuổi thọ máy.

Máy phủ PVD gồm những hệ thống nào?

Một hệ thống phủ PVD hiện đại không chỉ bao gồm buồng phủ mà còn là sự kết hợp của nhiều hệ thống phức tạp.

Thông thường gồm:

1 Buồng chân không (Vacuum Chamber)

2 Bơm chân không sơ cấp

3 Booster Pump

4 Bơm Turbo phân tử

5 Cryogenic Pump hoặc Polycold

6 Bơm khuếch tán (đối với một số dòng máy)

7 Hệ thống cấp khí Ar, N₂, O₂…

8 Nguồn DC / Pulsed DC / MF / RF

9 Cathode hoặc Magnetron

10 Hệ thống Bias

11 Bộ điều khiển PLC

12 Cảm biến áp suất chân không

13 Van chân không

14 Hệ thống làm mát nước

15 Hệ thống quay sản phẩm

16 Jig gá sản phẩm…

Chỉ cần một trong các hệ thống trên hoạt động không ổn định sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến toàn bộ quá trình phủ.

Những sự cố thường gặp trên máy phủ PVD

1. Máy không đạt áp suất chân không yêu cầu

Đây là lỗi phổ biến nhất.

Ví dụ:

Yêu cầu áp chân không: 2×10⁻⁵ mbar

Thực tế : chỉ đạt 3×10⁻³ mbar

Nguyên nhân có thể là:

1 Rò rỉ chân không

2 O-ring lão hóa

3 Van Vacuum rò rỉ

4 Bơm chân không chính kém

5 Bơm tăng áp hỏng

6 Bơm Turbo phân tử không đạt tốc độ

7 Bơm khuếch tán nhiễm bẩn

8 Polycold mất khả năng bẫy hơi nước

9 Buồng chân không nhiễm bẩn ..

ATL sử dụng:

1 Máy đo rò rỉ ELD 500 của Edwards

2 Các đồng hồ cảm biến chân không của Edwards có độ chính xác cao

Mục đích để xác định chính xác nguyên nhân thay vì thay thế linh kiện theo kinh nghiệm.

2. Thời gian Pump Down kéo dài.

Ví dụ:

Thông số thiết kế: 20 phút

Thực tế: 60 phút

Nguyên nhân thường gặp:

1 Bơm tăng áp không hoạt động

2 Bơm khuếch tán chưa đủ nhiệt

3 Cooling Water không đúng lưu lượng

4 Valve timing sai

5 Chamber bám dầu

6 Leak nhỏ

7 Gas ballast mở

8 Hơi nước tích tụ

ATL sẽ phân tích:

Pump Down Curve để xác định từng giai đoạn:

- Bơm chân không sơ cấp

- Bơm chân không thứ cấp

- Bơm chân không cao , khuếch tán or Turbo

Từ đó xác định lỗi chính xác.

3. Lớp phủ không đồng đều

Biểu hiện:

1  Màu không đều

2 Độ dày lệch

3 Một bên sáng

4 Một bên tối

5 Sản phẩm bị vàng

6 Sản phẩm bị chấm đen

Nguyên nhân:

1 Jig quay không đều

2 Cathode lệch

3  Magnet yếu

4 Plasma phân bố không đồng đều

5  Áp suất quá cao

6 Target mòn lệch

7 Bias Voltage sai

8 Buồng chân không có hơi dầu

ATL sẽ:

1 Kiểm tra plasma

2 Kiểm tra tốc độ quay

3 Kiểm tra Target erosion

4 Kiểm tra Magnetic Field

Để tối ưu chất lượng coating.

4. Hồ quang (Arc) xuất hiện liên tục

Arc liên tục gây:

1 Rỗ bề mặt

2 Bắn kim loại

3 Bong lớp phủ

4 Giảm tuổi thọ Target

Nguyên nhân:

1 Target bẩn

2 Cooling kém

3 Nguồn điện lỗi

4  Plasma không ổn định

5 Vacuum không đạt

ATL sẽ kiểm tra toàn bộ:

-         Arc Source

-        Cathode

-        Cooling

-        Water Flow

-        Target

-        Vacuum Stability

5. Lớp phủ  bong tróc

Đây là lỗi làm khách hàng mất nhiều chi phí nhất.

Nguyên nhân có thể gồm:

- Làm sạch chưa đạt

- Áp suất nền cao

- Outgassing

- Bias sai

- Ion Etching chưa đủ

- Nhiễm dầu chân không

- Chamber bẩn

ATL sẽ đánh giá toàn bộ quy trình phủ thay vì chỉ sửa máy.

6. Máy phủ tiêu hao Target bất thường

Nếu Target mòn nhanh bất thường có thể do:

-  Magnet lệch

- Cooling không đủ

-  Arc quá nhiều

- Current quá cao

-  Plasma mất cân bằng

Việc kiểm tra sẽ giúp giảm đáng kể chi phí vật tư.

7. Hệ thống Polycold hoạt động không hiệu quả

Polycold có nhiệm vụ:

- Bẫy hơi nước

- Giảm tải cho bơm chân không

- Rút ngắn Pump Down

Các lỗi thường gặp:

- Đóng băng không đều

- Nhiệt độ không đạt

- Môi chất lạnh thiếu

- Dầu máy nén suy giảm

- Trao đổi nhiệt kém

ATL có kinh nghiệm xử lý các hệ thống Polycold sử dụng môi chất lạnh sâu trong các dây chuyền phủ PVD và mạ chân không.

8. Hiện tượng dầu khuếch tán bay ngược bám dính vào buồng mạ ( Chamber )

Hiện tượng:

- Chamber bám dầu

- Lớp phủ bị nhiễm dầu

- Độ chân không kém

Nguyên nhân:

- Cooling Water sai

- Heater hỏng

- Dầu chân không cũ ( dùng sai loại dầu )

- Jet Assembly lệch

- Baffle hoạt động kém

ATL có quy trình:

- Vệ  sinh Diffusion Pump

- Thay dầu

- Sửa chữa Heater

- Kiểm tra Water Cooling

- Căn chỉnh Jet

đúng theo tiêu chuẩn của nhà sản xuất.

9. Turbo Pump báo lỗi

Một số lỗi thường gặp:

- Quá nhiệt

- Áp suất đầu xả cao

- Dòng điện cao

- Lỗi vòng bi

Tốc độ lỗi

ATL có khả năng:

- Phân tích log lỗi

- Kiểm tra Controller

- Kiểm tra nguồn

- Kiểm tra bơm chính

- Kiểm tra vòng bi

- Kiểm tra Cooling

trước khi kết luận phải sửa bơm Turbo hoặc thay Turbo.

10. Hệ thống chân không rung hoặc phát tiếng ồn lớn

Nguyên nhân:

- Mòn vòng bi

- Lệch khớp nối

- Rotor mất cân bằng

- Mòn bánh răng bơm tăng áp

- Motor lỗi

- Foundation rung

Việc phân tích rung động giúp ngăn ngừa hỏng hóc nghiêm trọng.

Quy trình sửa chữa máy phủ PVD tại ATL

Chúng tôi áp dụng quy trình kỹ thuật gồm:

Bước 1

Khảo sát hiện trạng thiết bị.

Bước 2

Đo toàn bộ thông số chân không.

Bước 3

Leak Test bằng Helium.

Bước 4

Kiểm tra bơm chân không.

Bước 5

Kiểm tra Turbo / Diffusion / Cryo / Polycold.

Bước 6

Kiểm tra hệ thống làm mát.

Bước 7

Kiểm tra nguồn Plasma.

Bước 8

Hiệu chỉnh toàn bộ hệ thống.

Bước 9

Chạy thử bằng quy trình coating thực tế.

Bước 10

Bàn giao báo cáo kỹ thuật chi tiết.

Dịch vụ ATL cung cấp

ATL nhận sửa chữa:

- Máy phủ PVD Hard Coating

- Máy phủ TiN

- Máy phủ TiAlN

- Máy phủ CrN

- Máy phủ DLC

- Máy phủ Decorative Coating

- Máy phủ Optical Coating

- Máy Metallization

- Hệ thống Evaporation

- Magnetron Sputtering

- Arc Evaporation

- Hybrid PVD System

Các hạng mục dịch vụ

- Kiểm tra rò rỉ Helium Leak Test.

- Đại tu bơm chân không Rotary, Dry Screw, Booster.

- Bảo dưỡng Turbo Molecular Pump.

- Bảo dưỡng Diffusion Pump.

- Sửa chữa Polycold. ( Nạp gas )

- Thay thế O-ring và gioăng chân không.

- Hiệu chuẩn cảm biến áp suất chân không.

- Vệ sinh buồng chân không và đường ống.

- Kiểm tra hệ thống nước làm mát.

- Căn chỉnh van chân không.

- Kiểm tra PLC và hệ điều khiển.

- Tối ưu chu trình Pump Down.

- Phân tích nguyên nhân lỗi lớp phủ.

- Tư vấn nâng cấp hệ thống chân không.

Lợi ích khi sử dụng dịch vụ của ATL

- Kỹ sư chuyên sâu về hệ thống chân không công nghiệp.

- Chẩn đoán theo dữ liệu đo kiểm, không thay thế linh kiện theo cảm tính.

- Thiết bị chuyên dụng như máy dò rò rỉ Helium, đồng hồ đo chân không và dụng cụ phân tích chuyên ngành.

- Kinh nghiệm với nhiều công nghệ bơm: Dry Screw, Oil Sealed, Roots Booster, Turbo Molecular, Diffusion và Cryogenic.

- Hỗ trợ bảo trì định kỳ, lập hồ sơ kỹ thuật và tư vấn cải tiến nhằm giảm thời gian dừng máy.

- Dịch vụ nhanh chóng trên phạm vi toàn quốc, phù hợp cho các nhà máy PVD, quang học, bán dẫn, linh kiện ô tô và khuôn mẫu.

Kết luận

Máy phủ PVD là hệ thống tích hợp giữa công nghệ phủ bề mặt, kỹ thuật chân không, nguồn plasma, điều khiển tự động và quản lý nhiệt. Khi xảy ra sự cố, việc chỉ thay thế linh kiện thường không giải quyết được tận gốc nguyên nhân.

ATL tập trung vào phân tích nguyên nhân gốc (Root Cause Analysis), sử dụng các phương pháp đo kiểm chuyên dụng để đánh giá toàn diện từ bơm chân không, buồng phủ, hệ thống làm mát, nguồn plasma đến quy trình vận hành. Cách tiếp cận này giúp khôi phục hiệu suất thiết bị, nâng cao chất lượng lớp phủ, giảm thời gian dừng máy và tối ưu chi phí vận hành lâu dài.

Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ :

Hotline : 0915 933 355

Email : info@apsuatchankhong.com

www.photlamkin.com

Liên hệ với chúng tôi

Liên hệ

Messenger