Tầm quan trọng của kiểm tra rò rỉ trong hệ thống chân không

1. Tầm quan trọng của kiểm tra rò rỉ trong hệ thống chân không

 • Ngăn chặn sự xâm nhập của các chất gây nhiễm bẩn như không khí, hơi ẩm vào hệ thống.

 • Đảm bảo hiệu suất cho các quy trình công nghiệp như sản xuất chất bán dẫn và phủ bề mặt.

 • Giảm nguy cơ hỏng hóc thiết bị và kéo dài tuổi thọ hệ thống.

 • Duy trì mức áp suất chân không cần thiết.

 

2. Các phương pháp kiểm tra rò rỉ phổ biến

 

a. Phương pháp suy giảm áp suất

 • Nguyên lý: Đo sự gia tăng áp suất theo thời gian khi hệ thống bị bịt kín.

 • Trường hợp sử dụng: Phù hợp khi nghi ngờ có rò rỉ lớn.

 • Hạn chế: Độ nhạy thấp, khó phát hiện rò rỉ nhỏ.

 

b. Kiểm tra rò rỉ bằng khí Helium

 • Nguyên lý: Bơm khí helium vào hệ thống hoặc quanh các vị trí nghi ngờ, máy phân tích khối phổ sẽ phát hiện khí helium lọt vào hệ thống.

 • Ưu điểm:

 • Độ nhạy cao (phát hiện được rò rỉ cực nhỏ).

 • Helium là khí trơ, an toàn và hiếm có mặt trong khí quyển.

 • Ứng dụng: Thường được dùng trong ngành hàng không vũ trụ, dược phẩm , bán dẫn và sản xuất thiết bị chân không cao.

 

c. Phương pháp kiểm tra bằng bọt xà phòng

 • Nguyên lý: Bôi dung dịch xà phòng lên các khu vực nghi ngờ, nếu có bọt khí xuất hiện thì đó là vị trí rò rỉ.

 • Trường hợp sử dụng: Kiểm tra nhanh, chi phí thấp cho các hệ thống áp suất thấp.

 • Hạn chế: Không phù hợp cho môi trường chân không sâu

 

d. Kiểm tra rò rỉ bằng siêu âm

 • Nguyên lý: Phát hiện tần số âm thanh phát ra khi khí thoát ra qua lỗ rò.

 • Ưu điểm: Phát hiện rò rỉ trong môi trường ồn và những vị trí khó tiếp cận.

 • Ứng dụng: Sử dụng cho cả hệ thống khí nén và chân không.

 

e. Kiểm tra độ dẫn nhiệt

 • Nguyên lý: Phát hiện sự thay đổi độ dẫn nhiệt của khí xung quanh hệ thống.

 • Trường hợp sử dụng: Dùng để phát hiện rò rỉ khí làm lạnh.

 

3. Các bước kiểm tra rò rỉ hiệu quả trong hệ thống chân không

 1. Chuẩn bị:

 • Vệ sinh và kiểm tra hệ thống để loại bỏ các vết nứt, kết nối lỏng hoặc gioăng bị hỏng.

 • Cô lập hệ thống để tránh các kết quả sai lệch.

 2. Tạo chân không:

 • Bơm hệ thống xuống mức chân không cần thiết.

 3. Kiểm tra:

 • Sử dụng phương pháp phù hợp như bơm helium hoặc thoa dung dịch bọt xà phòng lên vị trí nghi ngờ.

 • Theo dõi tín hiệu rò rỉ qua chỉ số áp suất, máy phân tích khối hoặc dấu hiệu trực quan.

4. Xác định vị trí rò rỉ:

 • Nếu dùng khí helium, sử dụng đầu dò hoặc phun helium quanh các vị trí mối hàn, mặt bích và van.

 5. Sửa chữa và kiểm tra lại:

 • Khắc phục rò rỉ bằng cách siết chặt kết nối, thay gioăng hoặc hàn lại.

 • Thực hiện kiểm tra lại để đảm bảo không có rò rỉ mới xuất hiện.

 

4. Đo lường tốc độ rò rỉ và tiêu chuẩn

 • Tốc độ rò rỉ thường được biểu diễn bằng mbar·L/s (milibar-lít trên giây).

 • Các tiêu chuẩn như ISO 20485 hoặc ASTM E493 quy định mức rò rỉ chấp nhận được cho từng loại hệ thống chân không.

 • Các hệ thống chân không cao như trong sản xuất bán dẫn yêu cầu tốc độ rò rỉ thấp đến 1 × 10⁻⁹ mbar·L/s.

 

5. Các vấn đề phổ biến và giải pháp

Vấn đề	Nguyên nhân	Giải pháp
Áp suất tăng chậm	Rò rỉ nhỏ hoặc thoát khí bên trong	Thực hiện quy trình gia nhiệt để loại bỏ hơi ẩm và tạp chất
Tín hiệu helium dai dẳng	Nhiễm bẩn hệ thống	Xả hệ thống bằng khí nitơ khô trước khi kiểm tra lại
Rò rỉ ảo	Lượng helium trong môi trường xung quanh	Căn chỉnh máy rò theo mức nền tiêu chuẩn
Kiểm tra bọt không hiệu quả	Hệ thống áp suất cao	Chuyển sang phương pháp dò siêu âm hoặc phân tích khối phổ bằng helium

 

 

6. Thiết bị kiểm tra rò rỉ phổ biến

 • Máy phân tích khối helium (ví dụ: các thương hiệu như Edwards, Pfeiffer, Leybold, Agilent).

 • Máy dò siêu âm để kiểm tra âm thanh phát ra từ rò rỉ.

 • Dung dịch bọt xà phòng cho các kiểm tra nhanh tại hiện trường.