Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

An Tài Lộc – Nhà phân phối chính thức bơm hút chân không khô Ebara tại Việt Nam

Thứ Hai, 26/05/2025
Nguyễn Văn Huấn
An Tài Lộc – Nhà phân phối chính thức bơm hút chân không khô Ebara tại Việt Nam

An Tài Lộc – Nhà phân phối chính thức bơm hút chân không khô Ebara tại Việt Nam

Chúng tôi tự hào cung cấp các dòng bơm hút chân không khô hiện đại của Ebara – thương hiệu hàng đầu Nhật Bản, bao gồm: ESA, ESR, EST, EV-A, EV-M và EV-S. Các sản phẩm được thiết kế đáp ứng tiêu chuẩn cao nhất cho các ứng dụng đòi hỏi môi trường chân không sạch, ổn định và tiết kiệm chi phí vận hành.

Với đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm và dịch vụ hậu mãi chuyên nghiệp, An Tài Lộc cam kết mang đến giải pháp chân không tối ưu, đáp ứng mọi yêu cầu khắt khe của khách hàng tại Việt Nam.

Bơm hút chân không khô  Ebara dòng ESA

Mô tả:

Dòng bơm ESA được phát triển để hút lượng khí lớn và đặc biệt phù hợp với các buồng load lock, buồng chuyển tải có thể tích lớn chứa khí không ăn mòn, đòi hỏi thời gian hút chân không nhanh. Loại bơm này đã được kiểm chứng trong sản xuất màn hình LCD, pin mặt trời và bán dẫn (MO-CVD).

Đặc điểm:

 • Thiết kế dành cho việc hút chân không nhanh trên các buồng có thể tích lớn

 • Chức năng điều khiển tốc độ động cơ thông minh giúp linh hoạt lưu lượng khí

 • Cánh bơm đường kính lớn cho phép thiết kế nhỏ gọn

 • Tích hợp chức năng lưu trữ dữ liệu cảnh báo sớm và cảnh báo sự cố.

 

Máy bơm chân không khô Ebara dòng ESR

Mô tả:

Dòng ESR được phát triển để đáp ứng nhu cầu tiết kiệm điện năng và kích thước máy bơm nhỏ gọn.

Các mẫu máy này đặc biệt phù hợp với các quy trình nhẹ và vừa như SEM, Load Lock, PVD, Ashing, Cấy ion và Etch.

Các mẫu ESR20N, ESR80WN và ESR200WN có tốc độ bơm có thể điều khiển, giúp cung cấp phạm vi chân không phù hợp để đáp ứng chính xác các ứng dụng quy trình.

Nói chung, dòng ESR có mức tiêu thụ điện năng giảm tới 60% so với dòng AA, đồng thời kích thước nhỏ hơn 40%, thể tích nhỏ hơn 50% và trọng lượng nhẹ hơn 30%.

Máy bơm chân không khô hiệu Ebara dòng EST

Mô tả:

Dòng EST bao gồm một máy bơm chính thiết kế dạng vít hai cấp, được chế tạo cho các ứng dụng trong các quá trình công nghiệp khắc nghiệt. Máy bơm chính được kết hợp với một máy bơm tăng áp kiểu lobe để tăng tốc độ bơm. Dòng EST có dải tốc độ bơm rộng, lên đến 50.000L/phút.

Tính năng:

Thiết kế cho các ứng dụng trong môi trường quá trình khắc nghiệt và hóa chất ăn mòn

Công suất bơm lớn và độ ổn định tải khí cao

Chức năng điều khiển tốc độ động cơ thông minh cho lưu lượng khí linh hoạt

Khả năng lưu trữ dữ liệu cảnh báo và báo động.

 

Máy bơm chân không khô hiệu Ebara dòng EV-A

Mô tả:

Một thế hệ máy bơm chân không làm mát bằng không khí

Dòng máy bơm chân không khô EV-A mới mang đến tốc độ bơm ổn định với hiệu suất bơm xuất sắc ở áp suất khí quyển.

EBARA đã sử dụng khả năng thiết kế đã được chứng minh để phát triển một công cụ mạnh mẽ cho các ngành công nghiệp chân không khô sạch. Các máy bơm khô, làm mát bằng không khí với áp suất tối đa 10E-2 mbar (1 Pa), có hiệu suất đặc biệt và có thể mang lại lợi ích của một máy bơm khô mà không cần làm mát bằng nước.

Với sự dễ dàng trong việc lắp đặt, chỉ cần cắm và chạy, kết hợp với khả năng chịu đựng hơi nước cao (cổng khí xả mở) giúp những máy bơm chân không này trở thành lựa chọn ưu tiên khi cần chân không khô sạch trong các ứng dụng khác nhau.

Lợi ích khách hàng:

Làm mát bằng không khí - không cần nước làm mát

Chân không không dầu - không có vấn đề về hydrocarbon trong hệ thống chân không

Mức độ ồn thấp - thân thiện với người sử dụng

Tiết kiệm điện năng

Vận hành không cần bảo trì - không có phớt đỉnh

Thiết kế nhỏ gọn

 

Máy bơm chân không khô hiệu Ebara dòng EV-M

Mô tả:

Thiết kế máy bơm sáng tạo mới cho các quy trình khắc nghiệt

EBARA ra mắt một thiết kế máy bơm chân không mới dành cho các quy trình khắc nghiệt. Các máy bơm có kích thước nhỏ gọn hơn và tiêu thụ điện năng thấp hơn 50% so với dòng EST. Dòng EV-M có tốc độ bơm H2 cao hơn so với các loại máy bơm chân không kiểu vít.

Lợi ích đối với khách hàng:

Tiêu thụ điện năng thấp nhất: Giảm chi phí sở hữu cho người dùng và giảm phát thải carbon của công ty.

Kích thước và trọng lượng nhỏ hơn so với các mẫu máy trước: Dễ sử dụng.

Tốc độ bơm H2 cao hơn so với các máy bơm chân không kiểu vít.

Tốc độ quay linh hoạt và chế độ chờ mặc định: Tiết kiệm điện năng thêm nữa.

 

Máy bơm hút chân không khô Ebara dòng EV-S

Mô Tả:

Hiệu Quả và Tiết Kiệm Năng Lượng

Nhu cầu giảm thiểu năng lượng là một vấn đề quan trọng đối với tính bền vững. Các nhà sản xuất đang sử dụng một số lượng lớn các máy bơm hút chân không khô đã cũ. Tùy vào quy trình, hệ thống chân không có thể chiếm tới 60% tổng nhu cầu điện năng cho một công cụ quy trình. Việc nâng cấp các máy bơm hút chân không có thể giảm tiêu thụ năng lượng của nhà máy và tiết kiệm chi phí cho bạn.

EBARA đã phát triển một loại máy bơm hút chân không mới và hiệu quả hơn bằng cách cải tiến hiệu suất động cơ, tối ưu số lượng các giai đoạn nén, tăng cường điều khiển động cơ và thêm các tính năng giao tiếp thông minh. Điều này sẽ giúp giảm đáng kể mức tiêu thụ năng lượng của máy bơm khô. Kết quả là giảm chi phí vận hành và cải thiện lợi nhuận cho khách hàng của chúng tôi.

Lợi ích cho khách hàng.

Tiêu thụ điện năng thấp nhất: Giảm chi phí sở hữu của người dùng và giảm phát thải carbon của công ty.

Kích thước và trọng lượng nhỏ hơn so với các mẫu trước: Thân thiện với người sử dụng.

Không cần làm sạch bằng khí N2 trong các ứng dụng sạch: Không cần khí ni-tơ.

Tốc độ quay linh hoạt và chế độ chờ tiêu chuẩn: Tiết kiệm năng lượng thêm nữa.

Mọi thông tin chi tiết xin vui lòng liên hệ :

Hotline : 0915 933 355

Email : suachuabomhutchankhong@gmail.com

 

 

Viết bình luận của bạn
Liên hệ với chúng tôi

Liên hệ

Messenger