Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

Cung Cấp Bơm Hút Chân Không iXM100 & iXM600 Cho Dự Án Nhà Máy Bán Dẫn Tại Việt Nam

Thứ Năm, 31/07/2025
Nguyễn Văn Huấn
Cung Cấp Bơm Hút Chân Không iXM100 & iXM600 Cho Dự Án Nhà Máy Bán Dẫn Tại Việt Nam

Cung Cấp Bơm Hút Chân Không iXM100 & iXM600 Cho Dự Án Nhà Máy Bán Dẫn Tại Việt Nam

🔧 Giải pháp chân không chuyên nghiệp cho ngành công nghiệp vi mạch

Ngành công nghiệp bán dẫn đang được xem là động lực chiến lược của nền sản xuất công nghệ cao tại Việt Nam, với sự đầu tư mạnh mẽ từ các tập đoàn lớn như Intel, Samsung, Hana Micron, Amkor , seoul semiconductor, và nhiều doanh nghiệp trong nước. Trong các dây chuyền sản xuất wafer và chip bán dẫn, bơm hút chân không khô (dry pump) đóng vai trò vô cùng quan trọng để đảm bảo môi trường sạch, ổn định và chính xác trong các quy trình khắc plasma, CVD, ALD và kiểm tra wafer.

Hiểu được nhu cầu đó, Công ty An Tài Lộc đã triển khai thành công hai dòng bơm hút chân không cao cấp iXM100 và iXM600 cho các dự án nhà máy bán dẫn tại Việt Nam, giúp tối ưu hóa hiệu suất và giảm thiểu rủi ro kỹ thuật trong vận hành.

📌 Đã cung cấp thực tế tại Việt Nam

Chúng tôi tự hào là đơn vị đã cung cấp và lắp đặt thực tế các dòng bơm iXM100 và iXM600 cho nhiều nhà máy bán dẫn đang hoạt động tại Khu Công Nghệ Cao TP. Hồ Chí Minh và Bắc Ninh, Ninh Bình,bao gồm:

 • Cung cấp 1 bộ bơm iXM100 cho hệ thống plasma etching của nhà máy sản xuất module cảm biến bán dẫn

 • Cung cấp 1 bộ bơm iXM600 cho dây chuyền CVD công suất cao, yêu cầu lưu lượng hút lớn và hoạt động liên tục 24/7

 • Hỗ trợ kết nối điều khiển với hệ thống DCS/SCADA của nhà máy

 • Vận hành – bàn giao – huấn luyện kỹ thuật viên tại dây truyền sản xuất.

📸 Hình ảnh thực tế giao hàng tại kho hàng của khác.

⚙️ Ưu điểm nổi bật của bơm iXM100 và iXM600

🔹 iXM100 – Dòng bơm compact, hiệu quả cao

 • Lưu lượng tối đa : 100 m³/h

 • Độ chân không tối đa : ≤ 0.01 mbar

 • Thiết kế gọn nhẹ, phù hợp các module nhỏ, ứng dụng plasma, test handler

 • Độ ồn thấp, không cần hệ thống cách âm riêng

🔹 iXM600 – Giải pháp cho hệ thống yêu cầu lưu lượng lớn

 • Lưu lượng hút: 600 m³/h

 • Hoạt động ổn định trong các ứng dụng CVD/ALD đa buồng

Hệ thống giám sát thông minh: cảnh báo nhiệt độ, áp suất, độ rung

 • Tối ưu tiêu thụ điện năng, tương thích biến tần

🏭 Ứng dụng trong sản xuất bán dẫn

Quy trình Vai trò của bơm hút chân không

Plasma Etching Duy trì môi trường chân không sạch, ổn định khi khắc wafer

CVD/ALD Hút khí thải, đảm bảo tốc độ và hiệu quả tạo lớp phủ mỏng

Wafer Testing Hỗ trợ tạo môi trường kiểm tra không bụi, không nhiễu

Load Lock Systems Giữ chênh lệch áp an toàn khi chuyển wafer

💡 Vì sao doanh nghiệp bán dẫn chọn iXM series?

  Không dầu – không ô nhiễm quy trình

  Bền bỉ – vận hành liên tục 24/7

  Tiết kiệm năng lượng – giảm chi phí vận hành

  Dễ dàng kết nối hệ thống điều khiển trung tâm

  Phụ tùng có sẵn – bảo trì nhanh chóng tại Việt Nam

💼 Dịch vụ trọn gói – Hỗ trợ kỹ thuật chuyên nghiệp

Công ty An Tài Lộc không chỉ cung cấp thiết bị mà còn là đối tác kỹ thuật đáng tin cậy cho các dự án:

 • Tư vấn lựa chọn model phù hợp với từng module

 • Khảo sát layout và hỗ trợ thiết kế sơ đồ đấu nối

 • Đào tạo kỹ thuật viên tại chỗ

 • Bảo hành chính hãng & bảo trì định kỳ

 • Sẵn sàng hỗ trợ 24/7 với đội ngũ kỹ thuật được đào tạo từ hãng Edwards

📞 Liên hệ ngay hôm nay

Bạn đang triển khai hoặc mở rộng nhà máy sản xuất bán dẫn tại Việt Nam?

Hãy để chúng tôi hỗ trợ giải pháp chân không toàn diện và tối ưu nhất.

📍 Công ty TNHH Thương Mại Và Dịch Vụ An Tài Lộc.

🌐 Website: www.photlamkin.com

📧 Email: suachuabomhutchankhong@gmail.com

📞 Hotline: +84 915 933 355

🏢 Trụ sở: Thôn Như Lân, Xã Nghĩa Trụ, Tỉnh Hưng Yên, Việt Nam.

iXM100 và iXM600 – Giải pháp chân không mạnh mẽ và tin cậy, đã được kiểm chứng tại Việt Nam

 

Viết bình luận của bạn
Liên hệ với chúng tôi

Liên hệ

Messenger