Sửa chữa bơm hút chân không - Bơm hút chân không Edwards

DỊCH VỤ SỬA CHỮA & PHỤC HỒI HỆ THỐNG PVD

Thứ Ba, 30/12/2025
Nguyễn Văn Huấn
DỊCH VỤ SỬA CHỮA & PHỤC HỒI HỆ THỐNG PVD

DỊCH VỤ SỬA CHỮA & PHỤC HỒI HỆ THỐNG PVD

Giải pháp toàn diện cho Physical Vapor Deposition

Khôi phục hiệu suất – Ổn định quy trình – Nâng cao chất lượng lớp phủ

An Tài Lộc (ATL) cung cấp dịch vụ sửa chữa và phục hồi hệ thống PVD (Physical Vapor Deposition) chuyên sâu, tập trung vào hệ chân không, buồng phủ, nguồn phủ và hệ điều khiển, giúp thiết bị hoạt động ổn định, đạt lại thông số thiết kế và nâng cao chất lượng sản phẩm.

Chúng tôi không chỉ sửa chữa sự cố, mà còn phân tích nguyên nhân gốc rễ (Root Cause Analysis) để ngăn lỗi tái diễn và kéo dài tuổi thọ hệ thống.

PHẠM VI DỊCH VỤ

1. Hệ chân không – Trái tim của hệ PVD

 • Kiểm tra và xử lý rò rỉ chân không bằng Helium Leak Detection ELD500 thế hệ mới nhất của Edwards

 • Đại tu bơm chân không:

 • Bơm chân không vòng dầu, Bơm khô trục vít, Bơm tăng áp, Bơm khuếch tán, Bơm turbo phân tử, Bơm Cryo

 • Tối ưu:

 • Thời gian hút chân không,  Áp suất nền, Gas ballast van,

  Nâng cấp:

 • Baffle, trap, filter bảo vệ bơm

 • Giảm nhiễm bẩn và backstreaming vào hệ thống.

Đảm bảo hệ thống đạt áp suất nền phù hợp cho coating (10⁻⁵ ~ 10⁻⁷ mbar tùy ứng dụng)

2. Buồng phủ & linh kiện bên trong

 • Vệ sinh chuyên sâu:

 • Shield, Thành buồng, Giá giữ sản phẩm

 • Xử lý: Bong tróc lớp phủ cũ, Bụi hạt, Cân chỉnh, Fixture, Hệ quay planetary, Thay thế / phục hồi, Shield,

 • Sứ cách điện, Feedthrough

3. Nguồn phủ (Deposition Sources)

Bay hơi nhiệt / E-beam, Thay filament, crucible, Căn chỉnh súng E-beam, Khắc phục hiện tượng, Bay hơi không ổn định, Spitting (bắn vật liệu),Phún xạ Magnetron, Thay & bonding target, Kiểm tra hệ nam châm và làm mát

 • Xử lý:

 • Arc discharge, Plasma không ổn định, Tối ưu công suất và lưu lượng khí, Hệ điện & điều khiển

 • Kiểm tra và sửa chữa: Nguồn DC / RF / MF, Linh kiện cao áp, Hiệu chuẩn cảm biến áp suất:

 • Pirani, Cold Cathode, Capacitance Gauge, Kiểm tra PLC, interlock và recipe coating, Khôi phục độ lặp lại và tính ổn định của quy trình

ĐẠI TU & NÂNG CẤP HỆ THỐNG PVD (REFURBISHMENT)

Phù hợp với hệ thống đã vận hành 5–10 năm

Khảo sát & đánh giá toàn bộ hệ thống, Thay thế seal và linh kiện lão hóa, Đại tu bơm chân không

Nâng cấp điều khiển & giám sát, Tối ưu quy trình phủ

 Chi phí chỉ hợp lý

KHI NÀO CẦN SỬA CHỮA HỆ PVD?

 • Áp suất nền không đạt hoặc tụt rất chậm

 • Thời gian hút chân không kéo dài bất thường

 • Lớp phủ: Bong tróc, Không đồng đều, Sai màu, Bụi hạt tăng, Bơm nóng bất thường, dầu nhanh xuống cấp

QUY TRÌNH DỊCH VỤ CHUẨN CỦA ATL

 1. Khảo sát & đo đạc thực tế tại nhà máy

 2. Phân tích nguyên nhân gốc rễ

 3. Đề xuất phương án sửa chữa / nâng cấp

 4. Thực hiện repair & kiểm tra kỹ thuật

 5. Test coating & bàn giao

 6. Hướng dẫn vận hành và bảo trì

VÌ SAO CHỌN AN TÀI LỘC (ATL)?

Chuyên sâu công nghệ chân không & coating

Kinh nghiệm thực tế với nhiều dây chuyền PVD tại Việt Nam

Am hiểu coating quang học, hard coating, decorative coating

Làm việc với các thương hiệu hàng đầu:

Oerlikon Balzers, Optorun, Shincron, Hanil …

Edwards, Leybold, Pfeiffer, Busch, Shinko-Seiki…

Giải pháp thực tế – tối ưu chi phí – vận hành bền vững

ỨNG DỤNG

 • Coating quang học, Hard coating (TiN, CrN, DLC…), Coating trang trí, Linh kiện điện tử – bán dẫn

 • Cơ khí chính xác

AN TÀI LỘC – ĐỐI TÁC DỊCH VỤ PVD & CHÂN KHÔNG

📍 Việt Nam

📧 Email: keytech885@gmail.com

🌐 Website: www.photlamkin.com  

Liên hệ với chúng tôi

Liên hệ

Messenger