Bơm chân không khuếch tán dầu Shinko-Seiki

Bơm chân không khuếch tán dầu Shinko-Seiki

Bơm chân không khuếch tán dầu của Shinko-Seiki (Nhật Bản) là dòng bơm chân không cao (High Vacuum) được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu áp suất cực thấp, độ sạch cao và độ ổn định lâu dài. Đây là giải pháp kinh điển nhưng vẫn rất hiệu quả trong nhiều hệ thống công nghiệp và nghiên cứu hiện đại.

Nguyên lý hoạt động

Bơm hoạt động dựa trên việc:

 • Gia nhiệt dầu khuếch tán (Diffusion oil) để tạo hơi dầu

 • Hơi dầu được phun qua các tầng ejector với tốc độ cao

 • Các phân tử khí bị “cuốn” theo dòng hơi dầu và đẩy xuống phía bơm sơ cấp (Backing pump)

 • Hơi dầu sau đó được làm mát – ngưng tụ – hồi lưu

Không có bộ phận quay nên vận hành êm, độ rung rất thấp

Đặc điểm kỹ thuật nổi bật

 • Sử dụng dầu vận hành: NEOVAC SX (SH-704) hoặc LION A

 • Khi dùng dầu DC-705:

 • Áp suất cuối đạt tới: **~ 4 × 10⁻⁶ Pa**

 • Công suất gia nhiệt tăng khoảng 20 – 45%

 • Tỷ lệ dầu bay ngược (Backstreaming) rất thấp:

7 × 10⁻⁷ → 2 × 10⁻⁸ g/min·cm²

 • Có nhiều cấu hình:

 • Standard type

 • Side-ejector type (phù hợp không gian lắp đặt hạn chế)

 Ưu điểm nổi bật

✔ Đạt áp suất siêu cao (High & Ultra High Vacuum)

✔ Cấu tạo bền bỉ, tuổi thọ cao

✔ Dễ bảo trì – chi phí vận hành thấp

✔ Phù hợp môi trường làm việc liên tục 24/7

✔ Chất lượng Nhật Bản – độ ổn định rất cao

Ứng dụng tiêu biểu

 •  Hệ thống PVD / CVD / coating quang học

 •  Phòng thí nghiệm chân không cao

 • Thiết bị gia tốc, thiết bị vật lý

 • Lò chân không, lò xử lý nhiệt

 • Sản xuất bán dẫn, linh kiện điện tử

 • Phủ nhôm trên nền nhựa

Tổng kết

Dòng Oil Diffusion Pump Shinko-Seiki là lựa chọn lý tưởng cho các hệ thống cần:

 • Áp suất cực thấp

 • Độ ổn định dài hạn

 • Thiết bị tin cậy, proven technology

 • Chi phí bảo trì thấp

Thông số kỹ thuật loại tiêu chuẩn

Thông số kỹ thuật loại ( Side ejector )