Tin Tức Nổi Bật

Khách hàng tiêu biểu

  • thmilk
  • samsung
  • seoul
  • merapgroup
  • hoya
  • chuyen phot bom tai viet nam
  • Sửa chữa phớt bơm
  • Phớt cho bơm chìm nước thải
  • Chuyên phớt bơm grundfos
  • Phớt bơm hóa chất
  • hanacans

Thống kê truy cập

Đang online: 1

Đã truy cập: 435594

Tin Tức

Bơm hút chân không edwards cho ứng dụng PECVD

(20:52:03 | 09/03/2016)

Bơm hút chân không edwards cho ứng dụng PECVD Nguyễn Huấn Vacuum Solutions Lắng đọng hơi hóa chất tăng cường Plasma (PECVD) là một quá trình mà các màng mỏng của nhiều vật liệu khác nhau có thể được lắng đọng trên chất nền ở nhiệt độ thấp hơn nhiệt độ của lắng đọng hơi hóa học tiêu chuẩn (CVD). Trong các quy trình PECVD, sự lắng đọng đạt được bằng cách đưa các khí phản ứng vào giữa các điện cực song song - một điện cực nối đất và một điện cực được cung cấp năng lượng từ RF. Sự kết hợp điện dung giữa các điện cực kích thích các khí của phản ứng thành plasma, tạo ra phản ứng hóa học và dẫn đến sản phẩm phản ứng được lắng đọng trên chất nền. Chất nền, được đặt trên điện cực nối đất, thường được làm nóng đến 250 ° C đến 350 ° C, tùy thuộc vào yêu cầu phim cụ thể. Trong khi đó, CVD yêu cầu 600 ° C đến 800 ° C. Nhiệt độ lắng đọng thấp hơn là rất quan trọng trong nhiều ứng dụng mà nhiệt độ CVD có thể làm hỏng các thiết bị đang được chế tạo. PECVD là quy trình độc quyền cho phép điều chỉnh ứng suất màng silicon nitride mà không làm hỏng thiết bị do lắng đọng tần số hỗn hợp (MFD). Plasma-Therm cung cấp công nghệ PECVD trên các nền tảng Vision Series và VERSALINE. Các ứng dụng Các màng thường được lắng đọng bằng cách sử dụng PECVD là silicon nitride (SixNy), silicon dioxide (SiO2), silicon oxy-nitride (SiOxNy), silicon carbide (SiC) và silicon vô định hình (α-Si). Silane (SiH4), khí nguồn silicon, được kết hợp với khí nguồn oxy để tạo thành silicon dioxide hoặc nguồn khí nitơ để sản xuất silicon nitride. Silicon dioxide và silicon nitride là vật liệu điện môi (cách điện) thường được sử dụng trong chế tạo các thiết bị điện tử để cách ly nhiều lớp dẫn điện, tụ điện và để thụ động bề mặt. Những màng này cũng được sử dụng để bao bọc để bảo vệ các thiết bị khỏi bị ăn mòn bởi các yếu tố khí quyển như độ ẩm và oxy. CVD hoặc lắng đọng hơi hóa học là một công nghệ được sử dụng để lắng các màng mỏng bằng cách cho chất nền tiếp xúc với một hoặc nhiều tiền chất dễ bay hơi, chúng phản ứng và / hoặc phân hủy trên bề mặt. Huyết tương (đối với PECVD) hoặc nhiệt độ (đối với SACVD) được sử dụng để nâng cao tốc độ phản ứng hóa học. Yêu cầu ứng dụng bơm hút chân không Edwards PECVD Công suất bơm hút chân không đa dạng từ 600 đến 3.000 m3 / h Hiệu suất chân không ổn định theo thời gian để tối ưu hóa năng suất Quản lý ngưng tụ bằng hoạt động nhiệt độ cao Ổn định nhiệt tiền thân bằng hoạt động ở nhiệt độ thấp Chống ăn mòn bằng công nghệ sơn tiên tiến Khả năng xử lý bột Tuổi thọ quy trình cao với chi phí vận hành thấp: Tiêu thụ điện năng thấp, chi phí sửa chữa thấp Làm thế nào nó hoạt động? Quy trình PECVD cho phép giảm nhiệt độ chất nền quan trọng đối với thiết bị, trong khi SACVD ở nhiệt độ cao và áp suất cao được sử dụng cho tốc độ lắng đọng cao. Với khả năng bao phủ bước tốt hơn công nghệ PVD, PECVD và SACVD chủ yếu được sử dụng để lắng đọng các lớp điện môi cách điện quan trọng giúp cô lập và bảo vệ cấu trúc điện, chẳng hạn như oxit silic, nitrit silic và low-K. Yêu cầu chân không Ngoại trừ lắng đọng Plasma mật độ cao (HDPCVD), hầu hết các quy trình hoạt động trong điều kiện chân không sơ cấp, trong phạm vi áp suất mbar. Khi phản ứng hóa học xảy ra trong buồng, các tiền chất phản ứng để tạo thành các sản phẩm phụ được hút chân không bằng máy bơm chân không. Các sản phẩm phụ như vậy thường là một thách thức lớn đối với máy bơm hút chân không khô vì bản chất của chúng có thể thay đổi tùy thuộc vào loại tiền chất được sử dụng: Có tính ăn mòn cao, chất ngưng tụ hoặc chất rắn, một số ứng dụng kết hợp đồng thời tất cả các chất này. Danh mục sản phẩm Edwards vacuum cung cấp đầy đủ các loại máy bơm khô được thiết kế để xử lý những thách thức này: Quản lý nhiệt tinh vi ngăn ngừa sự lắng đọng, vật liệu tiên tiến giúp giảm tốc độ ăn mòn và thiết kế roost nhiều tầng quản lý việc di tản bột. Mọi thông tin chi tiết về cung cấp bơm hút chân không mới , hệ thống chân không, tư vấn lắp đặt vận hành bơm hút chân không , sửa chữa bảo trì bơm hút chân không quý khách xin vui lòng liên hệ số 0915 933 355 để được tư vấn chi tiết

 Bơm hút chân không edwards cho ứng dụng PECVD

Nguyễn Huấn Vacuum Solutions

Lắng đọng hơi hóa chất tăng cường Plasma (PECVD) là một quá trình mà các màng mỏng của nhiều vật liệu khác nhau có thể được lắng đọng trên chất nền ở nhiệt độ thấp hơn nhiệt độ của lắng đọng hơi hóa học tiêu chuẩn (CVD).

Trong các quy trình PECVD, sự lắng đọng đạt được bằng cách đưa các khí phản ứng vào giữa các điện cực song song - một điện cực nối đất và một điện cực được cung cấp năng lượng từ RF. Sự kết hợp điện dung giữa các điện cực kích thích các khí của phản ứng thành plasma, tạo ra phản ứng hóa học và dẫn đến sản phẩm phản ứng được lắng đọng trên chất nền. Chất nền, được đặt trên điện cực nối đất, thường được làm nóng đến 250 ° C đến 350 ° C, tùy thuộc vào yêu cầu phim cụ thể. Trong khi đó, CVD yêu cầu 600 ° C đến 800 ° C. Nhiệt độ lắng đọng thấp hơn là rất quan trọng trong nhiều ứng dụng mà nhiệt độ CVD có thể làm hỏng các thiết bị đang được chế tạo.

PECVD là quy trình độc quyền cho phép điều chỉnh ứng suất màng silicon nitride mà không làm hỏng thiết bị do lắng đọng tần số hỗn hợp (MFD). Plasma-Therm cung cấp công nghệ PECVD trên các nền tảng Vision Series và VERSALINE.

 

Các ứng dụng

Các màng thường được lắng đọng bằng cách sử dụng PECVD là silicon nitride (SixNy), silicon dioxide (SiO2), silicon oxy-nitride (SiOxNy), silicon carbide (SiC) và silicon vô định hình (α-Si). Silane (SiH4), khí nguồn silicon, được kết hợp với khí nguồn oxy để tạo thành silicon dioxide hoặc nguồn khí nitơ để sản xuất silicon nitride.

 

Silicon dioxide và silicon nitride là vật liệu điện môi (cách điện) thường được sử dụng trong chế tạo các thiết bị điện tử để cách ly nhiều lớp dẫn điện, tụ điện và để thụ động bề mặt. Những màng này cũng được sử dụng để bao bọc để bảo vệ các thiết bị khỏi bị ăn mòn bởi các yếu tố khí quyển như độ ẩm và oxy.

CVD hoặc lắng đọng hơi hóa học là một công nghệ được sử dụng để lắng các màng mỏng bằng cách cho chất nền tiếp xúc với một hoặc nhiều tiền chất dễ bay hơi, chúng phản ứng và / hoặc phân hủy trên bề mặt. Huyết tương (đối với PECVD) hoặc nhiệt độ (đối với SACVD) được sử dụng để nâng cao tốc độ phản ứng hóa học.

Yêu cầu ứng dụng bơm hút chân không Edwards PECVD

Công suất bơm hút chân không đa dạng từ 600 đến 3.000 m3 / h

Hiệu suất chân không ổn định theo thời gian để tối ưu hóa năng suất

Quản lý ngưng tụ bằng hoạt động nhiệt độ cao

Ổn định nhiệt tiền thân bằng hoạt động ở nhiệt độ thấp

Chống ăn mòn bằng công nghệ sơn tiên tiến

Khả năng xử lý bột

Tuổi thọ quy trình cao với chi phí vận hành thấp: Tiêu thụ điện năng thấp, chi phí sửa chữa thấp

Làm thế nào nó hoạt động?

Quy trình PECVD cho phép giảm nhiệt độ chất nền quan trọng đối với thiết bị, trong khi SACVD ở nhiệt độ cao và áp suất cao được sử dụng cho tốc độ lắng đọng cao. Với khả năng bao phủ bước tốt hơn công nghệ PVD, PECVD và SACVD chủ yếu được sử dụng để lắng đọng các lớp điện môi cách điện quan trọng giúp cô lập và bảo vệ cấu trúc điện, chẳng hạn như oxit silic, nitrit silic và low-K.

 

Yêu cầu chân không

Ngoại trừ lắng đọng Plasma mật độ cao (HDPCVD), hầu hết các quy trình hoạt động trong điều kiện chân không sơ cấp, trong phạm vi áp suất mbar.

Khi phản ứng hóa học xảy ra trong buồng, các tiền chất phản ứng để tạo thành các sản phẩm phụ được hút chân không bằng máy bơm chân không. Các sản phẩm phụ như vậy thường là một thách thức lớn đối với máy bơm hút chân không khô vì bản chất của chúng có thể thay đổi tùy thuộc vào loại tiền chất được sử dụng: Có tính ăn mòn cao, chất ngưng tụ hoặc chất rắn, một số ứng dụng kết hợp đồng thời tất cả các chất này.

Danh mục sản phẩm

Edwards vacuum cung cấp đầy đủ các loại máy bơm khô được thiết kế để xử lý những thách thức này: Quản lý nhiệt tinh vi ngăn ngừa sự lắng đọng, vật liệu tiên tiến giúp giảm tốc độ ăn mòn và thiết kế roost nhiều tầng quản lý việc di tản bột. Mọi thông tin chi tiết về cung cấp bơm hút chân không mới , hệ thống chân không, tư vấn lắp đặt vận hành bơm hút chân không , sửa chữa bảo trì bơm hút chân không quý khách xin vui lòng liên hệ số 0915 933 355 để được tư vấn chi tiết

Bạn hãy đăng nhập vào Facebook để thực hiện bình luận và chia sẻ bản tin này với bạn bè.

Feedback

phone 0915 933 355